[发明专利]脆性材料基板的刻划装置有效
| 申请号： | 201410638487.6 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN104803592B | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 冈岛康智 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/02 | 分类号： | C03B33/02 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 刻划 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种脆性材料基板的刻划装置，其特征在于其具备：
前部输送带及后部输送带，是在同一水平面上隔有既定的间隔且串联地配置，以载置成为加工对象的脆性材料基板并进行搬送；
上部刀轮及下部刀轮，是配置于所述前部输送带及后部输送带之间；以及
上部空气喷出构件及下部空气喷出构件，是配置于该前部输送带与后部输送带之间、该上部刀轮及下部刀轮的各个的侧旁部分，以朝向该脆性材料基板的上下两面喷出空气；
该上下的空气喷出构件，设定成在该刀轮的周边喷出的长度，且安装于保持刀轮的刻划头，以与该刀轮一起移动。
2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的刻划装置，其特征在于，其中，
以成为加工对象的脆性材料基板在浮起的状态下稳定的方式，将由该下部空气喷出构件所产生的空气喷出压，设定成较由该上部空气喷出构件所产生的空气喷出压强出相当于对抗基板本身重的压力量。
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