[发明专利]一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法在审
| 申请号： | 201410615958.1 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104441283A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 王景然;危晨;崔伟;杜雪冬;郭刚刚;王龙;赵越;徐小龙;王岩;徐强 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010070 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法，其包括如下步骤：(1)配制切削液；(2)粘棒；(3)上料；(4)切割预热；(5)切割；(6)下料。本发明的优点在于，在切割过程中能够明显减少刀口损失，提高单晶公斤出片数，降低加工成本；同时还可以降低切割后硅片表面粗糙度，保证产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 80 电镀 金刚石 切割 硅片 方法 | ||
【主权项】：
一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法，其包括如下步骤：(1)配制切削液；(2)粘棒；(3)上料；(4)切割预热；(5)切割；(6)下料；其特征在于，所述步骤(1)配制切削液：切削液由工业用纯水和水溶性冷却液混合配制而成，配制成的所述切削液的体积比浓度为0.15％～0.2％；所述步骤(5)切割：切割钢线采用Φ80μm的电镀金刚石线，所述电镀金刚石线的颗粒粒径为8～16μm；硅片切割钢线张力设定为12～16N，单片用线量为0.8～1.2m/pcs，主切割速度为0.7～1.0mm/min，钢线运行速度为800～1200mm/min；设定硅片目标厚度为130～160μm；多线切割机主辊布线槽槽距设定为230～270μm，槽深为200～240μm，槽夹角为30°～45°；整个切割过程中，保证所述切削液流量稳定在180～220L/min。
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