[发明专利]一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法

说明书

技术领域：

本发明涉及一种切割硅片的方法，特别是涉及一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法。

背景技术：

太阳能级硅片在太阳能光伏电池的制造中占据着重要的地位，其加工成本的高低影响着太阳能光伏电池生产企业的市场竞争力。目前，国内部分生产厂家采用了较为先进的电镀金刚石线切割工艺，这种切割工艺的采用可以提高硅的利用率。但采用电镀金刚石线切割工艺，在切割过程中刀口易损失，由于电镀金刚石线成本较高，因此若能降低切割过程中刀口的损失，就可以在一定程度上降低切割成本，从而降低硅片加工成本，提升企业的市场竞争力。

发明内容：

本发明的目的在于提供一种能够降低刀口损失、提高单晶公斤出片数、降低加工成本、降低切割后硅片表面粗糙度的使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法。

本发明由如下技术方案实施：一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法，其包括如下步骤：(1)配制切削液；(2)粘棒；(3)上料；(4)切割预热；(5)切割；(6)下料；

所述步骤(1)配制切削液：切削液由工业用纯水和水溶性冷却液混合配制而成，配制成的所述切削液的体积比浓度为0.15％～0.2％；

所述步骤(5)切割：切割钢线采用Φ80μm的电镀金刚石线，所述电镀金刚石线的颗粒粒径为8～16μm；硅片切割钢线张力设定为12～16N，单片用线量为0.8～1.2m/pcs，主切割速度为0.7～1.0mm/min，钢线运行速度为800～1200mm/min；设定硅片目标厚度为130～160μm；多线切割机主辊布线槽槽距设定为230～270μm，槽深为200～240μm，槽夹角为30°～45°；整个切割过程中，保证所述切削液流量稳定在180～220L/min。

所述水溶性冷却液为BLASER冷却液或庆宏高特冷却液。

本发明的优点在于，在切割过程中能够明显减少刀口损失，提高单晶公斤出片数，降低加工成本；同时还可以降低切割后硅片表面粗糙度，保证产品合格率。

具体实施方式：

实施例1：

一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法，其包括如下步骤：(1)配制切削液；(2)粘棒；(3)上料；(4)切割预热；(5)切割；(6)下料；

步骤(1)配制切削液：切削液由工业用纯水和水溶性冷却液混合配制而成，水溶性冷却液为BLASER冷却液或庆宏冷却液，配制成的切削液的体积比浓度为0.15％；

步骤(5)切割：切割钢线采用Φ80μm的电镀金刚石线，电镀金刚石线的颗粒粒径为8μm；硅片切割钢线张力设定为12N，单片用线量为0.8m/pcs，主切割速度为0.7mm/min，钢线运行速度为800mm/min；设定硅片目标厚度为130μm；多线切割机主辊布线槽槽距设定为230μm，槽深为200μm，槽夹角为30°；整个切割过程中，保证所述切削液流量稳定在180L/min。

采用实施例1进行硅片切割，电镀金刚石线的刀口损失为43.5％，较使用Φ120μm、Φ100μm电镀金刚石线进行硅片切割的切割刀口损失分别降低9.2％、5.5％，切割过程刀口损失能够得到明显减少。同时使用Φ80μm电镀金刚石线切割，单晶公斤出片数较Φ120μm、Φ100μm电镀金刚石线切割分别增加14片/公斤、8.4片/公斤，单台设备月盈利能够增加2-4万元。

实施例1与使用Φ120μm、Φ100μm电镀金刚石线进行硅片切割的参数对比，如表1所示。

表1实施例1与使用Φ120μm、Φ100μm电镀金刚石线进行硅片切割的参数对比

实施例2：

一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法，其包括如下步骤：(1)配制切削液；(2)粘棒；(3)上料；(4)切割预热；(5)切割；(6)下料；

步骤(1)配制切削液：切削液由工业用纯水和水溶性冷却液混合配制而成，水溶性冷却液为BLASER冷却液或庆宏冷却液，配制成的切削液的体积比浓度为0.18％；

步骤(5)切割：切割钢线采用Φ80μm的电镀金刚石线，电镀金刚石线的颗粒粒径为12μm；硅片切割钢线张力设定为14N，单片用线量为1.0m/pcs，主切割速度为0.85mm/min，钢线运行速度为1000mm/min；设定硅片目标厚度为145μm；多线切割机主辊布线槽槽距设定为250μm，槽深为220μm，槽夹角为40°；整个切割过程中，保证所述切削液流量稳定在200L/min。