[发明专利]增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构

摘要

本发明涉及一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉装置，凭借增加独立控温的区域以增加玻璃基板的均温性及可控制性，能有效均匀的除去玻璃基板的光阻溶剂。其主要由腔体、热板、加热器、温度感应器及支撑底板所组成，该腔体底部为一热板；加热器设置于支撑底板上，并可对热板进行分区温控，而光阻预烤炉内设有温度感应器，可以侦测热板各区域的温度，再凭借温度感应器来调整加热器的温度，使热板的各区域温度达到相同，使位于热板上烘烤加热的玻璃基板达到均匀受热，达到除去玻璃基板的光阻溶剂及固化光阻，以利于后续的处理作业。

主权项

一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，其主要由腔体、热板、加热器及温度感应器所组成，该腔体底部为支撑底板，并利用上盖板盖合腔体形成一封闭的加热空间，在支撑底板向上依序设置加热器及热板，而能凭借加热器对热板进行加热，其特征在于：该热板划分为复数个小分区，且小分区是配合加热器的数量投影于热板而成，并分成有16至60个区域，位于小分区下方的加热器是独立对每一小分区进行加热，使每一小分区都具有独立的温度控制，能针对热板的每一小分区上的各区域温度进行调整。