[发明专利]增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构

权利要求书

1.一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，其主要由腔体、热板、 加热器及温度感应器所组成，该腔体底部为支撑底板，并利用上盖板盖合腔体 形成一封闭的加热空间，在支撑底板向上依序设置加热器及热板，而能凭借加 热器对热板进行加热，其特征在于：该热板划分为复数个小分区，且小分区是 配合加热器的数量投影于热板而成，并分成有16至60个区域，位于小分区下 方的加热器是独立对每一小分区进行加热，使每一小分区都具有独立的温度控 制，能针对热板的每一小分区上的各区域温度进行调整。