[发明专利]增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，使热板表面 的温度均匀一致。

背景技术

按，玻璃基板是液晶显示装置(TFT-LCD)的主要制程原料，就是俗称的 母玻璃或素玻璃，是一种高精密透明的电子零件，玻璃在液晶显示装置 (TFT-LCD)产业中扮演的角色好比是半导体产业中的晶圆，因此液晶显示装 置(TFT-LCD)产业对玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。

其次，液晶显示装置(TFT-LCD)的制程是分别利用两块无碱玻璃基板， 于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路，并将玻璃基板表面经过干式蚀 刻，将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面，成为彩色滤色 片，IC驱动电路则利用半导体制程，再将CMOS电路建置于玻璃表面，玻璃基 板的功能是做为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料，而液晶显示装置 (TFT-LCD)制程需要真空蒸镀与蚀刻，所以玻璃基板，必须要能忍受强酸强 碱的腐蚀、高温的制程环境，并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏 度。

因此，玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精细，其中，当涂抹光阻 液后，需经过烘烤将感光剂及光阻液等化学物质挥发，此时，请配合参阅图1 所示，该基板1进行烘烤时，是将基板1放在热板11上，再凭借热板11的热 度使玻璃基板1表面的化学物质挥发，在此过程中，其温度高达约摄氏70～150 ℃，且热板11的热源来自于底部的加热器12，而该加热器12则以1～15个区域 设置在热板11下方，使热板11中央、环边或端边能尽量保持均衡的温度，然 而，尽管热板11已经设置1～15个区域来控制温度，却还是无法在烘烤过程中 保持均温，加上每一相邻区域的温度会互相干扰，使得烘烤效果不佳，而影响 液晶显示装置(TFT-LCD)的生产品质。

发明人是专门从事相关加热机器的改良、制造及开发工作，深知传统光阻 预烤装置使用上的无法达到均匀加热的缺失，使玻璃基板品质无法提升，于是 乃极力苦思解决的道，并凭借本身的专业及多年来的工作经验，终于在历经数 次的修正、试验与改进后，首创出本发明。

发明内容

本发明涉及一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，特别是指一 种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉装置，能使加热区域的热板达 到均温，可有效均匀的除去玻璃基板的光阻溶剂及固化光阻。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，其主要由腔体、热板、 加热器及温度感应器所组成，该腔体底部为支撑底板，并利用上盖板盖合腔体 形成一封闭的加热空间，在支撑底板向上依序设置加热器及热板，而能凭借加 热器对热板进行加热，其特征在于：该热板划分为复数个小分区，且小分区是 配合加热器的数量投影于热板而成，并分成有16至60个区域，位于小分区下 方的加热器是独立对每一小分区进行加热，使每一小分区都具有独立的温度控 制，能针对热板的每一小分区上的各区域温度进行调整。

由于本发明主要由腔体、热板、加热器、温度感应器及支撑底板所组成， 该腔体底部为支撑底板，并利用上盖板盖合腔体形成一封闭的加热空间，位于 腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，而于任一侧边开设有排风口，以便于空 气流通；位于支撑底板上方设置加热器，其是利用电热丝产生热源，并于加热 器上方设置一热板，而能对热板进行分区加热；该热板为具导热性的金属板， 可将加热器的热传导至玻璃基板，至于温度感应器则设于热板上或加热器内， 用以侦测热板各区域的温度，凭借各区域的温度感应器来调整各区加热器的温 度，使热板的各区域温度可达到设定范围内。

当腔体内进行加热作业时，腔体为一封闭空间，腔体周围或上方设有排气 口，使空气可排出腔体的外；而位于腔体内的热板，受加热器的加温，以去除 玻璃基板表面的光阻溶剂及固化光阻。当烘烤一段时间后，该热板每一区域的 温度会产生差异，通常热板中央的温度会高于四周端边处，使玻璃基板受热不 均。而为控制热板整体达到均温，因此将加热器分成数区域，可分区进行加热， 并凭借温度感应器侦测热板在中央或端边的各分区温度，使热板对玻璃基板能 持续的均匀加热，有效提升生产合格率，及降低不合格率。

附图说明

图1是现有玻璃基板烘烤的示意图；

图2是本发明的立体分解图；

图3是本发明的另一实施例的示意图；