[发明专利]加热模块和包含所述加热模块的衬底处理设备

摘要

本发明提供一种加热模块与衬底处理设备。用于对衬底进行预热的加热模块安装在用于执行主处理的主处理模块的前端处。当将用激光照射衬底以使衬底结晶的激光结晶模块用作主处理模块时，加热模块对衬底进行预热，并且接着，激光结晶模块用激光照射衬底。即，在激光结晶处理之前使用加热模块对衬底进行预热。因此，主处理模块中在激光照射前后的温差小，并且加热和冷却速度低。因而，与现有技术中的多晶膜相比，根据所述实施例的多晶膜具有较大晶体粒径和较小晶格缺陷数目。

主权项

1.一种加热模块，其特征在于包括：多个灯式加热器，以垂直于衬底的移动方向线的方式排列以形成板形状的热源；下部外壳，其经配置以容纳所述灯式加热器；窗口部分，其经配置以覆盖容纳在所述下部外壳中的所述灯式加热器并且传递从所述灯式加热器发出的热；以及固定框架，其经配置以将所述窗口部分固定到所述下部外壳并且将冲洗气体喷射到所述窗口部分的上侧，其中每一所述灯式加热器包括灯体以及在所述灯体中卷绕的灯丝，且对于所述多个灯式加热器中除了在两个边缘处的两个所述灯式加热器之外的所有所述灯式加热器，每区域的所述灯丝的卷绕数目在所述灯体的延伸方向上经调整以控制所述板形状的热源的加热温度分布。