[发明专利]加热模块和包含所述加热模块的衬底处理设备

权利要求书

1.一种加热模块，其特征在于包括：

多个灯式加热器，以垂直于衬底的移动方向线的方式排列以形成板形状的热源；

下部外壳，其经配置以容纳所述灯式加热器；

窗口部分，其经配置以覆盖容纳在所述下部外壳中的所述灯式加热器并且传递从所述灯式加热器发出的热；以及

固定框架，其经配置以将所述窗口部分固定到所述下部外壳并且将冲洗气体喷射到所述窗口部分的上侧，

其中每一所述灯式加热器包括灯体以及在所述灯体中卷绕的灯丝，且对于所述多个灯式加热器中除了在两个边缘处的两个所述灯式加热器之外的所有所述灯式加热器，每区域的所述灯丝的卷绕数目在所述灯体的延伸方向上经调整以控制所述板形状的热源的加热温度分布。

2.根据权利要求1所述的加热模块，其中所述固定框架包括：

主体，其具有框架形状；

冲洗通路，其安置在所述主体中以接收所述冲洗气体；以及

冲洗喷嘴，其经配置以与所述冲洗通路连通以喷射所述冲洗气体。

3.根据权利要求1所述的加热模块，其中所述灯式加热器包括：

第一电极部分和第二电极部分，其安置在所述灯体的两侧处以密封所述灯体并且将电力供应到所述灯丝；

其中所述灯体的边缘区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目大于所述灯体的中心区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目。

4.根据权利要求3所述的加热模块，其中所述灯式加热器包括：

灯支撑部分，其安置在所述下部外壳中以支撑所述第一电极部分和所述第二电极部分；以及

灯插座，其安置于所述下部外壳之外以经由所述灯支撑部分将所述电力供应到所述第一电极部分和所述第二电极部分。

5.根据权利要求3或4所述的加热模块，其中当所述灯体具有全长时，所述中心区段具有范围在所述全长的20％到60％的长度，并且安置在所述中心区段的两侧处的所述边缘区段具有范围在所述全长的40％到80％的长度，并且所述中心区段由所述灯体的中心平分。

6.根据权利要求3所述的加热模块，其中当所述中心区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目为100时，所述灯体的所述边缘区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目为所述中心区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目的120％到250％。

7.根据权利要求3所述的加热模块，其中每区域的所述灯丝的卷绕数目从所述灯体的中心区到其边缘区逐渐增大。

8.根据权利要求3所述的加热模块，其中所述灯体的所述中心区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目最小，并且所述灯体的所述边缘区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目最大，并且所述中心区段和所述边缘区段的每区域的所述灯丝的卷绕数目在不同区段中持续变化。

9.根据权利要求3所述的加热模块，其中所述灯式加热器包括固定轴杆，所述固定轴杆具有所述灯丝围绕其卷绕的外圆周表面。

10.一种加热模块，其特征在于包括：

多个灯式加热器，以垂直于衬底的移动方向线的方式排列以形成板形状的热源；

下部外壳，其经配置以容纳所述灯式加热器；

窗口部分，其经配置以覆盖容纳在所述下部外壳中的所述灯式加热器并且传递从所述灯式加热器发出的热；

固定框架，其经配置以将所述窗口部分固定到所述下部外壳；以及

冲洗气体喷射部分，其安置在所述固定框架上方以将冲洗气体喷射到所述窗口部分，

其中每一所述灯式加热器包括灯体以及在所述灯体中卷绕的灯丝，且对于所述多个灯式加热器中除了在两个边缘处的两个所述灯式加热器之外的所有所述灯式加热器，每区域的所述灯丝的卷绕数目在所述灯体的延伸方向上经调整以控制所述板形状的热源的加热温度分布。