[发明专利]晶圆承载框的加工装置

摘要

本发明公开了一种晶圆承载框的加工装置，其特征在于，包括绷膜装置，用于绷紧薄膜，使薄膜具有张力；所述绷膜装置可运动地设置；支撑台；所述支撑台与所述绷膜装置相对设置，用于支撑绷膜框；所述绷膜装置朝薄膜运动后抵顶薄膜，将薄膜绷紧；所述绷膜装置与所述支撑台相对运动后，将薄膜压靠在位于支撑台的绷膜框上。本发明提供的晶圆承载框的加工装置，将晶圆承载框的加工自动化，大大提高了晶圆承载框的生产效率及生产合格率。

主权项

晶圆承载框的加工装置，其特征在于，包括：绷膜装置，用于绷紧薄膜，使薄膜具有张力；所述绷膜装置可运动地设置；支撑台；所述支撑台与所述绷膜装置相对设置，用于支撑绷膜框；所述绷膜装置朝薄膜运动后抵顶薄膜，将薄膜绷紧；所述绷膜装置与所述支撑台相对运动后，将薄膜压靠在位于支撑台的绷膜框上；还包括用于切割薄膜的切膜装置；所述切膜装置可转动地设置，且可升降地设置；所述切膜装置包括切膜支架；所述切膜支架上安装有切刀和两个滚筒；所述滚筒可转动地设置，分别设置在所述切膜支架两端；所述切刀设置在至少一个所述滚筒上并位于所述滚筒外侧；所述切膜支架中部安装有旋转支架，所述旋转支架可转动地设置；所述绷膜装置包括扩膜桶；所述扩膜桶具有桶腔；所述切膜装置可升降地安装于桶腔内。