[发明专利]一种Pt薄膜热敏电阻的制备方法在审
| 申请号： | 201410544191.8 | 申请日： | 2014-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN104332261A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 张俊 | 申请（专利权）人： | 陕西易阳科技有限公司 |
| 主分类号： | H01C17/12 | 分类号： | H01C17/12 |
| 代理公司： | 西安亿诺专利代理有限公司 61220 | 代理人： | 刘斌 |
| 地址： | 710075 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种Pt薄膜热敏电阻的制备方法，属于电子元件的制备领域。对基片进行处理，首先用纯净水冲洗，用纱布擦净基片表面，在室温下用铬酸洗液浸泡，再用纯净水冲洗，并用酒精、丙酮涤荡后，用四氯化碳、丙酮和酒精先后各两次超声波清洗10min；采用溅射镀膜的方式在基片上进行镀膜处理；在薄膜上设置细长条折线。通过对其工艺的改进，采用溅射镀膜的方式可使膜与基片的附着力增强，膜的纯度高，重复性好，成膜速率高，可以在较低的温度下制备薄膜。本发明所述Pt薄膜热敏电阻的制备方法操作简单，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pt 薄膜 热敏电阻 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种Pt薄膜热敏电阻的制备方法，其特征在于包括如下步骤：（1）对基片进行处理，首先用纯净水冲洗，用纱布擦净基片表面，在室温下用铬酸洗液浸泡，再用纯净水冲洗，并用酒精、丙酮涤荡后，用四氯化碳、丙酮和酒精先后各两次超声波清洗10 min；（2）采用溅射镀膜的方式在基片上进行镀膜处理；（3）在步骤（2）完成镀膜的薄膜上设置细长条折线。
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