[发明专利]一种大尺寸掺杂蓝宝石晶体的EFG生长装置及其生长工艺

摘要

本发明公开了一种大尺寸掺杂蓝宝石晶体的EFG生长装置及其生长工艺，采用在生长炉体的炉膛内设有保温底套，在保温底套的上端面设有下保温套，在下保温套的上端面设有中保温套，在中保温套的上端面设有上保温套，在上保温套的上端面设有保温盖，在保温底套轴孔内设有保温底板，在发热体底座上设有套状发热体，在保温底板上滑动插接有坩埚托杆，在坩埚托杆的上端部固定有坩埚托座，在坩埚托座上设有坩埚，在坩埚内设有结晶模具；在保温盖上滑动插接有籽晶杆，在籽晶杆的下端部上方位置固定有保温片。本发明可得到成分均匀的掺杂蓝宝石晶体，并能生长大尺寸掺杂蓝宝石晶体，同时能生长各种形状的掺杂晶体。

主权项

一种大尺寸掺杂蓝宝石晶体的EFG生长装置，其特征是：在生长炉体（1）上设有进气阀（1.1）与出气阀（1.2），在生长炉体（1）的炉膛内设有保温底套（2），保温底套（2）内沿着其轴向设有保温底套轴孔（2.1），在保温底套（2）的上端面设有下保温套（3），下保温套（3）内沿着其轴向设有呈锥形的下保温套轴孔（3.1），下保温套轴孔（3.1）的小口朝上，下保温套轴孔（3.1）的大口朝下，在下保温套（3）的上端面设有中保温套（4），中保温套（4）内沿着其轴向设有中保温套轴孔（4.1），在中保温套（4）的上端面设有上保温套（5），上保温套（5）内沿着其轴向设有呈锥形的上保温套轴孔（5.1），上保温套轴孔（5.1）的小口朝上，上保温套轴孔（5.1）的大口朝下，在上保温套（5）的上端面设有保温盖（6），在保温底套（2）、下保温套（3）、中保温套（4）、上保温套（5）、保温盖（6）外侧设有保温层（7），在保温底套轴孔（2.1）内设有保温底板（8），在保温底板（8）上固定有支撑柱（9），在支撑柱（9）上设有发热体底座（10），发热体底座（10）的下端面与保温底板（8）的上端面之间具有间隙，在发热体底座（10）上设有套状发热体（11），在保温底板（8）上滑动插接有坩埚托杆（12），在坩埚托杆（12）的上端部固定有坩埚托座（13），在坩埚托座（13）上设有坩埚（14），在坩埚（14）内设有结晶模具（15），且坩埚托杆（12）的下端与托杆升降机构（16）与称重控制机构（17）相连；在所述保温盖（6）上滑动插接有籽晶杆（18），在籽晶杆（18）的下端部上方位置固定有保温片（19），籽晶杆（18）的上端部与籽晶杆提拉机构（20）相连。