[发明专利]处理液供给装置和处理液供给方法

摘要

本发明提供一种处理液供给装置和处理液供给方法，使得不浪费地消耗处理液，有效地抑制处理液中的颗粒的增加。该处理液供给装置包括：供给用于对被处理体进行处理的处理液的处理液供给源；经由供给路径与上述处理液供给源连接，向被处理体排出上述处理液的排出部；设置于上述供给路径，用于除去处理液中的异物的过滤器装置；分别设置于上述供给路径中的过滤器装置的初级侧和次级侧的供给泵和排出泵；和控制部，其输出控制信号，使得使用上述供给泵和排出泵中的至少一个对从上述处理液供给源供给的处理液进行减压而使其脱气，接着使用上述供给泵和排出泵使脱气后的处理液从上述过滤器装置的初级侧经由该过滤器装置流通至次级侧。

主权项

1.一种处理液供给装置，其特征在于，包括：供给用于对被处理体进行处理的处理液的处理液供给源；经由供给路径与所述处理液供给源连接，向被处理体排出所述处理液的排出部；设置于所述供给路径，用于除去处理液中的异物的过滤器装置；分别设置于所述供给路径中的过滤器装置的初级侧和次级侧的供给泵和排出泵；在所述排出泵的排出侧与供给泵的吸入侧之间设置的循环路径；和控制部，其输出控制信号，使得使用所述供给泵和排出泵中的至少一个对从所述处理液供给源供给的处理液进行减压而使其脱气，接着使用所述供给泵和排出泵使脱气后的处理液从所述过滤器装置的初级侧经由该过滤器装置流通至次级侧，所述控制部输出控制信号，使得在所述供给泵、所述过滤器装置和所述排出泵中充满处理液之后，在所述供给泵的动作停止的状态下，由所述供给泵、所述排出泵、所述过滤器装置、所述供给路径的从所述供给泵至所述排出泵的区域和所述循环路径形成密闭空间，通过所述排出泵的泵室的扩张，所述密闭空间被减压，通过这样被减压，溶入所述密闭空间内的处理液中的气泡析出，进行所述处理液的脱气。