[发明专利]气密组件、具有其的装置及其测漏方法

摘要

本发明提供了一种气密组件、具有其的装置及其测漏方法。该气密组件，包含有一本体，具有至少一容置空间，每一该容置空间具有一第一端以及一第二端，该第一端设置于该本体的表面，该第一端的面积大于或等于该第二端的面积；至少一闭合件，设置于该容置空间上；一密封件，设置于该闭合件或该本体其中之一，该密封件内具有至少一开口；多个通孔，设置于该闭合件或该本体其中之一；以及其中当该闭合件设置于该容置空间内时，该些通孔与该至少一开口相连通，该密封件与该些通孔形成一流体通道。

主权项

一种气密组件，其特征在于，包含有：一本体，具有至少一容置空间与一基材通道，每一该容置空间具有一第一端以及一第二端，该第一端设置于该本体的表面，该第一端的面积大于或等于该第二端的面积，该基材通道通过该第二端，该基材通道具有两个相对设置的阀口；至少一闭合件，设置于该容置空间上；一密封件，设置于该闭合件或该本体其中之一，该密封件内具有至少一开口；以及多个通孔，设置于该闭合件或该本体其中之一；其中，当一基板或带材经过该阀口进入该容置空间后，该闭合件可从一较远离该基板或带材的位置移动至一较接近该基板或带材的位置于该容置空间内并阻绝该基材通道，且该些通孔与该至少一开口相连通，该密封件与该些通孔形成一流体通道。