[发明专利]用于光刻设备的光源切换装置在审
| 申请号： | 201410428718.0 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105372940A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 王福亮;徐荣伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光源切换装置，其特征在于，包括：至少两个光源，所述光源被切换依次提供照明的光束；分束器，用于将所述光束分为实际照明光束和探测光束；光功率探测器，用于探测所述探测光束以获得正提供照明的所述光源的光功率信息；控制器，用于根据所述光功率信息控制驱动器，所述驱动器用于驱动光源切换单元；当所述光功率信息满足预定的阈值时，所述光源切换单元就切换另一个所述光源来提供照明。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 设备 光源 切换 装置 | ||
【主权项】：
一种光源切换装置，其特征在于，包括：至少两个光源，所述光源被切换依次提供照明的光束；分束器，用于将所述光束分为实际照明光束和探测光束；光功率探测器，用于探测所述探测光束以获得正提供照明的所述光源的光功率信息；控制器，用于根据所述光功率信息控制驱动器，所述驱动器用于驱动光源切换单元；当所述光功率信息满足预定的阈值时，所述光源切换单元就切换另一个所述光源来提供照明。
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