[发明专利]用于光刻设备的光源切换装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种用于光刻设备的光源切换装置。

背景技术

随着集成电路产业的迅猛发展，集成电路的应用领域日益广泛，需求量也日益增加，这对光刻设备的产率提出了越来越高的要求，影响产率的重要因素之一是光刻设备的的平均无故障工作时间。然而光刻设备中不少分系统为满足对光源光谱连续性、光功率稳定性的苛刻要求而不得不用采用寿命较短的诸如卤素灯之类的光源，这导致不得不频繁地更换光源，在较大程度上减少了这些分系统的平均无故障工作时间，进而减少了整个光刻设备的的平均无故障工作时间，从而降低了产率。

发明内容

为了克服现有技术中存在的缺陷，本发明提供了光源切换装置，可以实现光源的瞬时自动切换，无需停机，不影响光刻设备正常工作。

为了实现上述发明目的，本发明公开一种光源切换装置，其特征在于，包括：至少两个光源，所述光源被切换依次提供照明的光束；分束器，用于将所述光束分为实际照明光束和探测光束；光功率探测器，用于探测所述探测光束以获得正提供照明的所述光源的光功率信息；控制器，用于根据所述光功率信息控制驱动器，所述驱动器用于驱动光源切换单元；当所述光功率信息满足预定的阈值时，所述光源切换单元就切换另一个所述光源来提供照明。

更进一步地，所述光源为多个，所述光源切换单元为一转盘，所述多个光源散布或均布在所述转盘的圆周面上，所述转盘转动切换所述多个光源进入工作位置。

更进一步地，所述光源为2个，所述光源切换单元包括一驱动机构带动一连杆绕转轴转动，切换所述2个光源进入工作位置。

更进一步地，所述驱动机构为气动、液动或磁力驱动活塞。

更进一步地，所述连杆为T型连杆。

更进一步地，所述实际照明光束为强光束，所述探测光束为弱光束。

更进一步地，还包括调解调平传感器，用于接收所述实际照明光束，当所述光功率信息满足预定的阈值，并且所述调焦调平传感器在设定时间段接收到所述实际照明光束的平均信号强度满足预先设定的阈值，当所述控制器接收到2个所述满足预先设定的阈值的信号后，控制所述驱动器驱动所述光源切换单元，所述光源切换单元切换其他所述光源来提供照明。

更进一步地，当所述光源切换装置中的所有所述光源的所述光功率信息满足预定的阈值时，所述控制器发出信号，提示更换全部所述光源。

更进一步地，当所述光源切换装置中的所有所述光源的所述光功率信息满足预定的阈值并且所述实际照明光束的平均信号强度满足预先设定的阈值时，所述控制器发出信号，提示更换全部所述光源。

本发明与现有技术相比，可以实现光源的瞬时自动切换，无需停机，不影响光刻设备正常工作，从而增加了平均无故障工作时间，提高了产率。

附图说明

关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。

图1是本发明所涉及的光源切换装置的工作原理图；

图2是本发明所涉及的光源切换装置的结构示意图；

图3是本发明所涉及的光源切换装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。

现有技术的光刻设备为了满足对光源光谱连续性、光功率稳定性的苛刻要求而不得不用采用寿命较短的诸如卤素灯之类的光源，当光源的寿命结束时必须停机更换，这将减少光刻设备的平均无故障工作时间、降低产率。

为了克服现有技术中存在的缺陷，本发明提供了光源切换装置，包括安装有至少两个光源的光源切换单元、分束器、驱动器、控制器、光功率探测器，光源切换单元与驱动器相连接，驱动器和光功率探测器均与控制器相连接，光源切换单元中处于工作位置的光源发出的全部或部分光经分束器(BS)后分为两束，较强的一束为分系统提供照明，较弱的一束照射到光功率探测器上，光功率探测器将光功率信息传递给控制器，如果目前的光功率小于设定的阈值，光源切换装置的控制系统开启下一个新光源进行预热，待该被测物体测量完毕后，光源切换装置的控制系统发出指令至驱动器，驱动器驱动光源切换单元将下一个新光源切换到工作位置，当光源切换单元上所有光源的亮度均低于所设定的阈值时，控制器发出信号，提示更换全部光源。该光源切换装置可以实现光源的瞬时切换，无需停机，不影响光刻设备正常工作。