[发明专利]用于光刻设备的光源切换装置

权利要求书

1.一种光源切换装置，其特征在于，包括：

至少两个光源，所述光源被切换依次提供照明的光束；

分束器，用于将所述光束分为实际照明光束和探测光束；

光功率探测器，用于探测所述探测光束以获得正提供照明的所述光源的光功率信息；

控制器，用于根据所述光功率信息控制驱动器，所述驱动器用于驱动光源切换单元；

当所述光功率信息满足预定的阈值时，所述光源切换单元就切换另一个所述光源来提供照明。

2.如权利要求1所述的光源切换装置，其特征在于，所述光源为多个，所述光源切换单元为一转盘，所述多个光源散布或均布在所述转盘的圆周面上，所述转盘转动切换所述多个光源进入工作位置。

3.如权利要求1所述的光源切换装置，其特征在于，所述光源为2个，所述光源切换单元包括一驱动机构带动一连杆绕转轴转动，切换所述2个光源进入工作位置。

4.如权利要求3所述的光源切换装置，其特征在于，所述驱动机构为气动、液动或磁力驱动活塞。

5.如权利要求3所述的光源切换装置，其特征在于，所述连杆为T型连杆。

6.如权利要求1所述的光源切换装置，其特征在于，所述实际照明光束为强光束，所述探测光束为弱光束。

7.如权利要求1-6中任一所述的光源切换装置，其特征在于，还包括调解调平传感器，用于接收所述实际照明光束，当所述光功率信息满足预定的阈值，并且所述调焦调平传感器在设定时间段接收到所述实际照明光束的平均信号强度满足预先设定的阈值，当所述控制器接收到2个所述满足预先设定的阈值的信号后，控制所述驱动器驱动所述光源切换单元，所述光源切换单元切换其他所述光源来提供照明。

8.如权利要求1-6中任一所述的光源切换装置，其特征在于，当所述光源切换装置中的所有所述光源的所述光功率信息满足预定的阈值时，所述控制器发出信号，提示更换全部所述光源。

9.如权利要求7所述的光源切换装置，其特征在于，当所述光源切换装置中的所有所述光源的所述光功率信息满足预定的阈值并且所述实际照明光束的平均信号强度满足预先设定的阈值时，所述控制器发出信号，提示更换全部所述光源。