[发明专利]一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管，通过在驱动基板上分别形成扫描线路层、绝缘层、氧化物半导体层及数据线路层，将扫描线路层上的扫描线路的一端、绝缘层以及数据线路层的转接线的一端熔融在一起，使扫描线路层的扫描线路与转接线连通，并将与扫描线路熔融后的转接线的另一端与驱动基板的控制器连接，实现了扫描线路与控制器的连接，并且，无需专门打孔即可实现转接线通过绝缘层，并使扫描线路、绝缘层、转接线熔融在一起，使得工艺简单，并节约了成本。

主权项

一种薄膜晶体管制作方法，其特征在于，包括：选取驱动基板；在所述驱动基板上沉积金属导电膜层，形成栅电极图案、与栅电极图案相连的扫描线路，所述栅电极图案及扫描线路位于扫描线路层上；在所述扫描线路层上方设置绝缘层；在所述绝缘层上方形成氧化物半导体层；在所述氧化物半导体层上设置数据线路层，所述数据线路层设置有源电极、漏电极、数据线路及转接线；通过熔融方式使扫描线路的一端、转接线的一端及绝缘层熔融在一起；所述与扫描线路熔融后的转接线的另一端与驱动基板的控制器相连。