[发明专利]一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管

说明书

技术领域

本发明涉及电子纸领域，尤其涉及一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管。

背景技术

电子纸技术多采用电泳显示技术作为显示面板，其显示效果接近自然纸张效果，免于阅读疲劳，然而，其需要额外的数字设备来阅读，如电子词典、个人电脑等。

目前，电子纸的显示面板通常采用薄膜晶体管制作。

薄膜晶体管包括基板、扫描线路层、绝缘层、数据线路层，其中，扫描线路层是由在基板上形成的栅电极图案、与栅电极图案连接的栅线、扫描线组成的。

通常扫描线路是通过转接线与驱动基板的控制器连接的，而转接线是设置于数据线路层的，要实现扫描线路通过转接线与基板的控制器连接，需要使转接线穿过绝缘层，这就需要打穿绝缘层。

显然，通过打穿绝缘层来实现转接线穿过绝缘层，进而实现扫描线路通过转接线与基板的控制器的连接需要浪费人力，并且，工艺制作过程复杂。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管，以解决现有技术中实现扫描线路通过转接线与基板的控制器连接的工艺过程复杂，不易实现的问题，其具体方案如下：

一种薄膜晶体管制作方法，包括：

选取驱动基板；

在所述驱动基板上沉积金属导电膜层，形成栅电极图案、与栅电极图案相连的扫描线路，所述栅电极图案及扫描线路位于扫描线路层上；

在所述扫描线路层上方设置绝缘层；

在所述绝缘层上方形成氧化物半导体层；

在所述氧化物半导体层上设置数据线路层，所述数据线路层设置有源电极、漏电极、数据线路及转接线；

通过熔融方式使扫描线路的一端、转接线的一顿及绝缘层熔融在一起；

所述与扫描线路熔融后的转接线的另一端与驱动基板的控制器相连。

进一步的，通过熔融方式使扫描线路的一端、转接线的一端及绝缘层熔融在一起，具体为：

通过激光熔融方式使扫描线路的一端、转接线的一端及绝缘层熔融在一起。

进一步的，在所述驱动基板上沉积金属导电膜层，形成栅电极图案、与栅电极图案相连的扫描线路，具体为：

在所述驱动基板上沉积金属导电膜层，采用黄光、蚀刻方式形成栅电极图案、与栅电极图案相连的扫描线路。

一种薄膜晶体管制作系统，包括：选取单元，与所述选取单元相连的第一制作单元，与所述第一制作单元相连的第二制作单元，与所述第二制作单元相连的第三制作单元，与所述第三制作单元相连第四制作单元，与所述第四制作单元相连的熔融模块，

所述选取单元用于选取驱动基板；

所述第一制作单元用于在所述驱动基板上沉积金属导电膜层，形成栅电极图案、与栅电极图案相连的扫描线路，所述栅电极图案及扫描线路位于扫描线路层上；

所述第二制作单元用于在所述扫描线路层上方设置绝缘层；

所述第三制作单元用于在所述绝缘层上方形成氧化物半导体层；

所述第四制作单元用于在所述氧化物半导体层上方设置数据线路层，所述数据线路层设置有源电极、漏电极、数据线路及转接线；

所述熔融模块用于通过熔融方式将扫描线路的一端、转接线的一端与绝缘层熔融在一起，并使与所述扫描线路熔融后的转接线的另一端与驱动基板的控制器相连。

进一步的，所述熔融模块具体为：激光器，

所述激光器通过熔融方式将扫描线路的一端、转接线的一端与绝缘层熔融在一起，并使与所述扫描线路熔融后的转接线的另一端与驱动基板的控制器相连。

进一步的，还包括：与所述第一制作单元相连的蚀刻单元，

所述蚀刻单元用于在所述第一制作单元在所述驱动基板上沉积金属导电膜层之后，利用黄光、蚀刻方式形成栅电极图案及扫描线路。

一种薄膜晶体管，包括：由下至上依次设置的驱动基板、扫描线路层单元、绝缘层单元、半导体层单元及数据线路层单元，其中，所述扫描线路层单元设置于所述驱动基板上，

所述扫描线路层单元包括：栅电极图案、与栅电极图案相连的扫描线路；

所述数据线路层单元包括：源电极、漏电极、数据线路和转接线；

所述扫描线路的一端、转接线的一端及绝缘层熔融在一起，使所述与扫描线路熔融后的转接线的另一端与驱动基板的控制器相连。

进一步的，所述扫描线路层单元具体为：

在所述驱动基板上沉积金属导电膜层，采用黄光、蚀刻方式形成栅电极图案、与栅电极图案相连的扫描线路。