[发明专利]半导体结构有效
| 申请号： | 201410401581.X | 申请日： | 2014-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN105336741B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 胡志玮;叶腾豪 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/11582 | 分类号： | H01L27/11582 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体结构，该半导体结构包括：导电条纹、导电层、第一介电层与一第二介电层。第一介电层介于交错配置的导电条纹与导电层之间。第二介电层不同于第一介电层，并与第一介电层邻接在导电条纹的同一侧壁的不同位置上。本发明提供的半导体结构，具有较稳定的结构特征，不容易发生形变的问题，且产品可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 介电层 半导体结构 导电条纹 导电层 产品可靠性 交错配置 邻接 形变 | ||
【主权项】：
1.一种半导体结构，包括：导电条纹；导电层；第一介电层，介于交错配置的该导电条纹与该导电层之间；以及第二介电层，不同于该第一介电层，并与该第一介电层邻接在该导电条纹的同一侧壁的不同位置上；其中，该导电条纹具有厚度不同且相邻接的第一导电部分与第二导电部分，该第一介电层邻接在该第一导电部分，该第二介电层邻接在该第二导电部分。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
