[发明专利]高精度晶圆背刻对中系统沟槽对位方法

摘要

本发明包括工业相机、工业激光、晶圆对位眼、器件图像等组成背刻沟槽装置，是利用计算机控制下的工业机相和激光器，对高精度要求的晶圆背刻系统的沟槽对位的方法。1.利用工业相机对位正面对位眼和器件，计算出沟槽位置，送激光校正“十字”线位置。2.对位相机取左对位眼图像，计算出晶圆的基础偏位，取右对位眼图像，确认晶圆的基础偏位。3.再将晶圆的基础偏位补偿给五位对中台。补偿给激光，背刻左右对眼位的“十字”线，计算出器件图像与对位眼图像的偏差，为非对位眼的器件图像作补偿。4.利用晶圆的基础偏位，找到正确标刻器件。利用器件图像和对位眼图像偏位值，叠加后补偿给激光。该发明具有成本低，使用便捷，精度高的特点。

主权项

基于激光标刻的精准技术和CCD工业相机的高分辨率图像处理技术， 利用晶圆的多次成像的对位眼为基准，检测晶圆的器件沟槽的位置，为激光背刻图案提供高精度的定位。现利用CCD工业相机对位正面对位眼和器件，计算出沟槽位置，将偏差值送激光校正“十字”线图案位置， 高精度地标刻在晶圆的背面，保证“十字”线与沟槽位置对齐。 1)基础对位计算：对位相机取左对位眼的图像， 对位相机电脑计算出晶圆的基础偏位， 而后到右眼位取右对位眼图像，确认晶圆的基础偏位。 2)将晶圆的基础偏位， A补偿给五位对中台， 以防止沟槽错位；B同时补偿给激光，背刻左右对眼位的“十字”线； C 计算出器件图像与对位眼图像的偏差， 为非对位眼的器件图像作出器件偏位补偿。 3)利用晶圆的基础偏位， 找到正确标刻同一沟槽器件。 而后利用器件图像和对位眼的补偿第二次图像偏位值， 叠加补偿后给激光标刻背面“十字”线。