[发明专利]高精度晶圆背刻对中系统沟槽对位方法

权利要求书

1.基于激光标刻的精准技术和CCD工业相机的高分辨率图像处理技术， 利用晶圆的多次成像的对位眼为基准，检测晶圆的器件沟槽的位置，为激光背刻图案提供高精度的定位。

现利用CCD工业相机对位正面对位眼和器件，计算出沟槽位置，将偏差值送激光校正“十字”线图案位置， 高精度地标刻在晶圆的背面，保证“十字”线与沟槽位置对齐。 

1)基础对位计算：对位相机取左对位眼的图像， 对位相机电脑计算出晶圆的基础偏位， 而后到右眼位取右对位眼图像，确认晶圆的基础偏位。 

2)将晶圆的基础偏位， 

A补偿给五位对中台， 以防止沟槽错位；

B同时补偿给激光，背刻左右对眼位的“十字”线； 

C 计算出器件图像与对位眼图像的偏差， 为非对位眼的器件图像作出器件偏位补偿。 

3)利用晶圆的基础偏位， 找到正确标刻同一沟槽器件。 而后利用器件图像和对位眼的补偿第二次图像偏位值， 叠加补偿后给激光标刻背面“十字”线。 

2.其特征在于，该装置包括CCD相机，工业激光，晶圆对位眼，器件图像等组成的背刻沟槽技术的依次连接。 

3.根据权利要求1和权利要求2所述的高精度晶圆背刻系统沟槽对位方法及装置，其特征在于，所述的CCD相机为一个，与激光分晶圆的两边安装。