[发明专利]片盒定位装置以及半导体加工设备

摘要

本发明提供一种片盒定位装置以及半导体加工设备，其包括：限位门，与片盒的侧框可旋转地连接，通过旋转限位门，而使其位于阻挡或非阻挡片盒中的晶片移动的第一位置或第二位置；定位机构，用于将限位门锁定在第一位置或第二位置，以及在需要取放片时，解除对限位门的锁定。本发明提供的片盒定位装置，其可以根据具体需要随时开启或关闭限位门，从而可以阻挡晶片相对于片盒移动，以避免发生晶片位置偏移或掉落，进而可以保证机械手能够正常取片。

主权项

1.一种片盒定位装置，其特征在于，包括：限位门，与所述片盒的侧框可旋转地连接，通过旋转所述限位门，而使其位于阻挡或非阻挡所述片盒中的晶片移动的第一位置或第二位置；定位机构，用于将所述限位门锁定在所述第一位置或第二位置，以及在需要取放片时，解除对所述限位门的锁定；所述定位机构包括：弧形导轨，设置在所述片盒的顶板上，且沿所述限位门的旋转圆周方向延伸；滑动件，位于所述弧形导轨内，且与所述限位门固定连接，并且所述滑动件在所述限位门旋转时，沿所述弧形导轨滑动；锁定件，用于在所述限位门旋转至所述第一位置或第二位置时，将所述滑动件锁定在所述片盒的顶板上，以及在需要取放片时，解除对所述滑动件的锁定。