[发明专利]一种无晶种精细单晶金刚石微粉的制备方法

摘要

本发明公开了一种无晶种精细金刚石单晶微粉的制备方法，包括以下步骤：采用基体自形核衬底预处理方法，在硅基衬底上使核体均匀独立分散；应用热丝化学气相沉积法对经过预处理后的硅基衬底进行沉积，包括金刚石形核及金刚石颗粒生长两阶段，获得晶形规则的金刚石单晶颗粒；采用化学腐蚀硅基衬底结合高速离心沉降颗粒工艺处理获得的所述金刚石单晶颗粒，以获得精细金刚石单晶微粉。本发明获得的精细金刚石微粉中具有高品级六-八面体或二十面体聚形晶体形态的比例较高，该方法获得的精细微粉在晶形及表面质量上占有优势，且工艺流程简单，所获得的微粉尺寸分布集中，可省去微粉的粒度筛选工艺。

主权项

一种无晶种精细金刚石单晶微粉的制备方法，其特征在于，步骤为：(a)：采用基体自形核衬底预处理方法，在硅基衬底上使核体均匀独立分散；(b)：应用热丝化学气相沉积法对经过所述步骤(a)预处理后的所述硅基衬底进行沉积，包括金刚石形核及金刚石颗粒生长两阶段，获得晶形规则的金刚石单晶颗粒；(c)：采用化学腐蚀硅基衬底结合高速离心沉降颗粒工艺处理所述步骤(b)中获得的所述金刚石单晶颗粒，以获得精细金刚石单晶微粉。