[发明专利]一种折射率连续可调的透明膜层材料的制备方法

摘要

一种折射率连续可调透明膜层材料的制备方法，步骤如下：将正硅酸乙酯、氨水、无水乙醇和去离子水混合，磁力搅拌后制得低折射率前驱液A；将钛酸丁酯、乙酰丙酮、无水乙醇和去离子混合，磁力搅拌后制得高折射率前驱液B；将前驱液A和前驱液B按照不同体积比混合，磁力搅拌后制得镀膜前驱液C；采用镀膜法在衬底上利用镀膜前驱液C制备折射率为1.2-2.3的透明膜层，退火后即可制得目标物透明膜层材料。本发明的优点是：该制备方法通过控制两种高、低折射率镀膜前驱液的混合比例，即可获得介于高、低两种折射率之间的折射率任意连续可调的膜层；所用的衬底材料可以是任意大小、任意形状和任意材质的固体以及任意半导体或光学器件的界面。

主权项

一种折射率连续可调透明膜层材料的制备方法，其特征在于：通过制备两种高、低折射率的前驱液，控制两种高、低折射率镀膜前驱液的混合比例，获得不同折射率的膜层，并通过改变混合比例可调节膜层的折射率值，包括如下步骤：1）将正硅酸乙酯、氨水、无水乙醇和去离子水按照体积比为3：1‑4：150‑250：1‑6混合，然后在磁力搅拌机上连续搅拌至少10个小时，获得含Si低分子、粘度值为1.2‑3.0mPa·s的低折射率前驱液A；2）将钛酸丁酯、乙酰丙酮、无水乙醇和去离子按照体积比为1：0.5‑1.5：20‑60：0.5‑1.5混合，然后在磁力搅拌机上连续搅拌至少5个小时，得到含Ti低分子、粘度值为1.3‑2.0mPa·s的高折射率前驱液B；3）将前驱液A和前驱液B按照体积比为0‑10：1混合，在磁力搅拌机上连续搅拌至少5个小时，得到粘度值为1.4~6.0mPa·s、折射率为1.2‑2.3的镀膜前驱液C；4）采用镀膜法在玻璃、硅片、塑料、陶瓷或金属衬底上，利用镀膜前驱液C制备折射率为1.2‑2.3、厚度为10‑500纳米的透明膜层，退火后即可制得目标物透明膜层材料。