[发明专利]一种折射率连续可调的透明膜层材料的制备方法

权利要求书

1.一种折射率连续可调透明膜层材料的制备方法，其特征在于：通过制备两种高、低折射率的前驱液，控制两种高、低折射率镀膜前驱液的混合比例，获得不同折射率的膜层，并通过改变混合比例可调节膜层的折射率值，包括如下步骤：

1）将正硅酸乙酯、氨水、无水乙醇和去离子水按照体积比为3：1-4：150-250：1-6混合，然后在磁力搅拌机上连续搅拌至少10个小时，获得含Si低分子、粘度值为1.2-3.0mPa·s的低折射率前驱液A；

2）将钛酸丁酯、乙酰丙酮、无水乙醇和去离子按照体积比为1：0.5-1.5：20-60：0.5-1.5混合，然后在磁力搅拌机上连续搅拌至少5个小时，得到含Ti低分子、粘度值为1.3-2.0mPa·s的高折射率前驱液B；

3）将前驱液A和前驱液B按照体积比为0-10：1混合，在磁力搅拌机上连续搅拌至少5个小时，得到粘度值为1.4~6.0mPa·s、折射率为1.2-2.3的镀膜前驱液C；

4）采用镀膜法在玻璃、硅片、塑料、陶瓷或金属衬底上，利用镀膜前驱液C制备折射率为1.2-2.3、厚度为10-500纳米的透明膜层，退火后即可制得目标物透明膜层材料。

2.根据权利要求1所述折射率连续可调透明膜层材料的制备方法，其特征在于：所述衬底材料为玻璃、塑料或其它所有需要沉积光学薄膜的器件表面。

3.根据权利要求1所述折射率连续可调透明膜层材料的制备方法，其特征在于：所述镀膜法为提拉法、匀胶法、辊涂法、超声喷雾法或空气喷雾法；衬底温度在采用提拉法、匀胶法或辊涂法时为0-150℃，在采用超声喷雾法或空气喷雾法时为0-500℃且衬底温度均不得高于衬底材料的熔点。

4.根据权利要求1所述折射率连续可调透明膜层材料的制备方法，其特征在于：所述透明膜层的退火方法为马佛炉中退火法、真空退火法或非易燃气体保护退火法，退火温度为室温-650℃且低于衬底熔化温度，退火时间为5-60分钟。