[发明专利]一种去边宽度的监测晶圆及其制作方法在审
| 申请号： | 201410387724.6 | 申请日： | 2014-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN105448891A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 栾会倩 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 汪洋;高伟 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种去边宽度的监测晶圆以及制作方法，其中所述监测晶圆的边缘具有若干第一刻度尺图形，所述第一刻度尺图形带有刻度的边与所述监测晶圆的半径对齐，所述第一刻度尺图形的最小刻度至少为0.1mm。利用本发明的具有刻度尺图形的监测晶圆对去边宽度做监控，可直接在监测晶圆上读出去边宽度，并且通过四个刻度尺图形上读出的四个读数，可精确的判断出去边宽度大小，以及是否相对晶圆中心有平移(即通常所说的大小边的问题)。采用本发明的监测晶圆对去边宽度进行监控，可以快速的读出去边监测数据，无需机台测量，省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽度 监测 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种去边宽度的监测晶圆，其中所述监测晶圆的边缘具有若干第一刻度尺图形，所述第一刻度尺图形带有刻度的边与所述监测晶圆的半径对齐，所述第一刻度尺图形的最小刻度至少为0.1mm。
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