[发明专利]用于OLED材料蒸镀的加热装置有效
| 申请号： | 201410351750.3 | 申请日： | 2014-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN104078626A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 刘亚伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于OLED材料蒸镀的加热装置，包括一用于容纳OLED材料(10)的坩埚(1)、套设于坩埚(1)的本体部(11)外围的下加热线圈(2)、套设于坩埚(1)的上盖部(13)外围的上加热线圈(3)、设于所述本体部(11)与下加热线圈(2)之间的下导热均温套(4)、设于所述上盖部(13)与上加热线圈(3)之间的上导热均温套(5)、及设于上、下导热均温套(5、4)之间的一隔热环(6)；所述上、下加热线圈(3、2)分别连接一电源，分别控制所述上盖部(13)与本体部(11)的加热温度。该加热装置能够避免OLED材料(10)的气态分子在坩埚(1)的出气孔(131)处凝结、固化，避免堵塞出气孔(131)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 oled 材料 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种用于OLED材料蒸镀的加热装置，包括一用于容纳OLED材料(10)的坩埚(1)，该坩埚(1)包括本体部(11)及连接于本体部(11)的上盖部(13)，该上盖部(13)的顶端中心设有一出气孔(131)，其特征在于，还包括套设于所述本体部(11)外围的下加热线圈(2)、套设于所述上盖部(13)外围的上加热线圈(3)、设于所述本体部(11)与下加热线圈(2)之间的下导热均温套(4)、设于所述上盖部(13)与上加热线圈(3)之间的上导热均温套(5)、及设于上、下导热均温套(5、4)之间的一隔热环(6)；所述上、下加热线圈(3、2)分别连接一电源，分别控制所述上盖部(13)与本体部(11)的加热温度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410351750.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
