[发明专利]用于OLED材料蒸镀的加热装置

说明书

技术领域

本发明涉及OLED制程领域，尤其涉及一种用于OLED材料蒸镀的加热装置。

背景技术

有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)是一种极具发展前景的平板显示技术，它不仅具有十分优异的显示性能，还具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。

OLED通常包括：基板、置于基板上的ITO透明阳极、置于ITO透明阳极上的有机材料层，以及置于有机材料层上的阴极。有机材料层又包括：空穴注入层(HIL)、置于空穴注入层上的空穴传输层(HTL)、置于空穴传输层上的发光层(EML)、置于发光层上的电子传输层(ETL)、置于电子传输层上的电子注入层(EIL)，为了提高效率，发光层通常采用主/客体掺杂系统。

OLED有机材料薄膜的制备主要有两种工艺路线：对于高分子OLED有机材料，采用溶液成膜方式，但这种工艺目前还处于试验室研究阶段；对于小分子OLED有机材料，目前普遍采用真空热蒸镀的成膜方式，这种工艺方法被平板显示行业的大多数工厂采用，比如三星、LG等。

真空热蒸镀的成膜方式是在低于5×10^-5Pa的真空环境下，通过加热的方式使升华型或熔融型的OLED材料由固态变为蒸气状态，高速运动的气态分子到达玻璃基板并在基板上沉积、凝结、固化，形成OLED材料的固体薄膜。如图1所示，现有的用于OLED材料蒸镀的加热装置包括用于容纳OLED材料300的坩埚100与设于坩埚100外部的一组加热线圈200，该坩埚100的顶部中心设有一出气孔150。图2为该一组加热线圈200的工作过程示意图，由图可知该组加热线圈200的上部210与主体部230的温度无法分开控制，只能同步升温或降温。图3为该现有的用于OLED材料蒸镀的加热装置的工作过程示意图，首先对该组加热线圈200通电，容纳于加热装置内部的OLED材料300开始升温；当温度升高至OLED材料300的汽化温度时，OLED材料300的气态分子由出气孔150溢出并沉积至基板上；当OLED材料300快要蒸镀完或试验间隙较长的情况下，需要对加热装置进行降温时，对该组加热线圈200断电，加热装置整体降温，OLED材料300的气态分子会在出气孔150处固化堆积，导致出气孔150被堵塞，需要中断生产过程，进行开腔处理。这样不仅降低了生产效率，加大了工作量，也会带来因OLED材料暴露在空气中导致OLED材料接触水汽、氧气而变质的风险。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于OLED材料蒸镀的加热装置，能够实现对OLED材料降温的同时使出气孔保持较高的温度，避免OLED材料的气态分子在出气孔处固化，从而避免堵塞出气孔，保证生产效率，杜绝OLED材料因接触水汽、氧气而变质的风险。

为实现上述目的，本发明提供一种用于OLED材料蒸镀的加热装置，包括一用于容纳OLED材料的坩埚，该坩埚包括本体部及连接于本体部的上盖部，该上盖部的顶端中心设有一出气孔；还包括套设于所述本体部外围的下加热线圈、套设于所述上盖部外围的上加热线圈、设于所述本体部与下加热线圈之间的下导热均温套、设于所述上盖部与上加热线圈之间的上导热均温套、及设于上、下导热均温套之间的一隔热环；所述上、下加热线圈分别连接一电源，分别控制所述上盖部与本体部的加热温度。

所述下导热均温套固定于一平台上。

所述下导热均温套底部设有凸块，所述平台对应该凸块设有凹槽，所述凸块置于凹槽内，且所述凸块与凹槽之间嵌设有隔热垫，从而将所述下导热均温套固定于平台上。

所述下导热均温套顶部设有下环槽，所述上导热均温套底部设有上环槽，所述隔热环嵌设于所述上、下环槽内，将所述上、下导热均温套分隔开。

所述下导热均温套的内径大于坩埚的本体部的外径，且二者差值不大于10mm；所述上导热均温套的内径大于坩埚的上盖部的外径，且二者差值不大于10mm。

所述上导热均温套的高度大于坩埚的上盖部的高度，且二者差值不大于10mm。

所述上、下加热线圈的可加热温度范围在室温至1300℃之间，温度控制精度在5℃以内。

所述上、下导热均温套的材料为不锈钢。

所述隔热环的材料为陶瓷；所述隔热垫的材料为陶瓷。