[发明专利]用于OLED材料蒸镀的加热装置

权利要求书

1.一种用于OLED材料蒸镀的加热装置，包括一用于容纳OLED材料(10)的坩埚(1)，该坩埚(1)包括本体部(11)及连接于本体部(11)的上盖部(13)，该上盖部(13)的顶端中心设有一出气孔(131)，其特征在于，还包括套设于所述本体部(11)外围的下加热线圈(2)、套设于所述上盖部(13)外围的上加热线圈(3)、设于所述本体部(11)与下加热线圈(2)之间的下导热均温套(4)、设于所述上盖部(13)与上加热线圈(3)之间的上导热均温套(5)、及设于上、下导热均温套(5、4)之间的一隔热环(6)；所述上、下加热线圈(3、2)分别连接一电源，分别控制所述上盖部(13)与本体部(11)的加热温度。

2.如权利要求1所述的用于OLED材料蒸镀的加热装置，其特征在于，所述下导热均温套(4)固定于一平台(7)上。

3.如权利要求2所述的用于OLED材料蒸镀的加热装置，其特征在于，所述下导热均温套(4)底部设有凸块(42)，所述平台(7)对应该凸块(42)设有凹槽(72)，所述凸块(42)置于凹槽(72)内，且所述凸块(42)与凹槽(72)之间嵌设有隔热垫(8)，从而将所述下导热均温套(4)固定于平台(7)上。

4.如权利要求1所述的用于OLED材料蒸镀的加热装置，其特征在于，所述下导热均温套(4)顶部设有下环槽(41)，所述上导热均温套(5)底部设有上环槽(51)，所述隔热环(6)嵌设于所述上、下环槽(51、41)内，将所述上、下导热均温套(5、4)分隔开。

5.如权利要求1所述的用于OLED材料蒸镀的加热装置，其特征在于，所述下导热均温套(4)的内径大于坩埚(1)的本体部(11)的外径，且二者差值不大于10mm；所述上导热均温套(5)的内径大于坩埚(1)的上盖部(13)的外径，且二者差值不大于10mm。

6.如权利要求5所述的用于OLED材料蒸镀的加热装置，其特征在于，所述上导热均温套(5)的高度大于坩埚(1)的上盖部(13)的高度，且二者差值不大于10mm。

7.如权利要求1所述的用于OLED材料蒸镀的加热装置，其特征在于，所述上、下加热线圈(3、2)的可加热温度范围在室温至1300℃之间，温度控制精度在5℃以内。

8.如权利要求1所述的用于OLED材料蒸镀的加热装置，其特征在于，所述上、下导热均温套(5、4)的材料为不锈钢。

9.如权利要求1所述的用于OLED材料蒸镀的加热装置，其特征在于，所述隔热环(6)的材料为陶瓷；所述隔热垫(8)的材料为陶瓷。

10.如权利要求1所述的用于OLED材料蒸镀的加热装置，其特征在于，还包括一盖设于所述上导热均温套(5)顶端的导热均温板(9)，该导热均温板(9)的中心设有一通孔(91)，且该通孔(91)的直径大于所述出气孔(131)的直径。