[发明专利]振动加热式芯片拔除装置及振动加热式芯片拔除方法在审
申请号: | 201410281322.8 | 申请日: | 2014-06-20 |
公开(公告)号: | CN104035223A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 何娜 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 杨波 |
地址: | 215301 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 振动加热式芯片拔除装置包括承载平台以及振动加热装置,承载平台具有承载面,定义平行于承载面并相互垂直的方向分别为第一方向和第二方向,并定义垂直于第一方向和第二方向的方向为第三方向。振动加热装置包括工作头、振动驱动装置和加热装置,工作头设置于承载平台上,工作头包括平行于第二方向和第三方向的工作抵靠面,振动驱动装置连接于工作头,驱使工作头沿第一方向或第二方向振动,加热装置连接于工作头,加热工作头。本发明还涉及振动加热式芯片拔除方法,对于芯片的拔除效率高,装置操作方便可靠。 | ||
搜索关键词: | 振动 加热 芯片 拔除 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种振动加热式芯片拔除装置,其特征在于,其包括承载平台以及振动加热装置,该承载平台具有承载面,定义平行于该承载面并相互垂直的方向分别为第一方向和第二方向,并定义垂直于该第一方向和该第二方向的方向为第三方向,该振动加热装置包括工作头、振动驱动装置和加热装置,该工作头位于该承载平台上方,该工作头包括平行于该第二方向和该第三方向的工作抵靠面,该振动驱动装置连接于该工作头,驱使该工作头沿该第一方向或该第二方向振动,该加热装置连接于该工作头,加热该工作头。
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