[发明专利]检查设备有效
| 申请号： | 201410252780.9 | 申请日： | 2014-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN104656005B | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 渡边浩康 | 申请（专利权）人： | 富士施乐株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 吕俊刚,刘久亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种检查设备，包括基板被装载到且从其卸下的第一测试器和第二测试器，第一测试器和第二测试器测试装载的基板；第一测试器被安装到的第一台，其可移动到基板被装载到第一测试器中以及从其卸下的第一装卸位置以及第一测试器在装载在第一装卸位置的基板的测试期间所位于的设置在第一装卸位置上方的第一测试位置；第二测试器被安装到的设置在第一台下方的第二台，其可移动到基板被装载在第二测试器中以及从其卸下的第二装卸位置以及第二测试器在装载在第二装卸位置的基板的测试期间所位于的设置在第二装卸位置下方的第二测试位置；以及升降机构，其将第一台上下移动到第一装卸位置和第一测试位置以及将第二台上下移动到第二装卸位置和第二测试位置。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 设备 | ||
【主权项】：
一种检查设备，所述检查设备包括：第一测试器和第二测试器，基板被装载到所述第一测试器和所述第二测试器中的每一个中以及从所述第一测试器和所述第二测试器中的每一个卸下，所述第一测试器和所述第二测试器测试装载的基板；第一台，所述第一测试器被安装在所述第一台上，所述第一台可移动到第一装卸位置以及第一测试位置，在所述第一装卸位置，所述基板被装载到所述第一测试器中以及从所述第一测试器卸下，所述第一测试器在装载在所述第一装卸位置处的所述基板的测试期间位于所述第一测试位置，所述第一测试位置设置在所述第一装卸位置上方；第二台，所述第二测试器安装在所述第二台上，所述第二台被设置在所述第一台下方并且可移动到第二装卸位置以及第二测试位置，在所述第二装卸位置，所述基板被装载在所述第二测试器中以及从所述第二测试器卸下，所述第二测试器在装载在所述第二装卸位置处的所述基板的测试期间位于所述第二测试位置，所述第二测试位置设置在所述第二装卸位置下方；以及升降机构，所述升降机构将所述第一台上下移动到所述第一装卸位置和所述第一测试位置以及将所述第二台上下移动到所述第二装卸位置和所述第二测试位置。
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