[发明专利]检查设备

权利要求书

1.一种检查设备，所述检查设备包括：

第一测试器和第二测试器，基板被装载到所述第一测试器和所述第二测试器中的每一个中以及从所述第一测试器和所述第二测试器中的每一个卸下，所述第一测试器和所述第二测试器测试装载的基板；

第一台，所述第一测试器被安装在所述第一台上，所述第一台可移动到第一装卸位置以及第一测试位置，在所述第一装卸位置，所述基板被装载到所述第一测试器中以及从所述第一测试器卸下，所述第一测试器在装载在所述第一装卸位置处的所述基板的测试期间位于所述第一测试位置，所述第一测试位置设置在所述第一装卸位置上方；

第二台，所述第二测试器安装在所述第二台上，所述第二台被设置在所述第一台下方并且可移动到第二装卸位置以及第二测试位置，在所述第二装卸位置，所述基板被装载在所述第二测试器中以及从所述第二测试器卸下，所述第二测试器在装载在所述第二装卸位置处的所述基板的测试期间位于所述第二测试位置，所述第二测试位置设置在所述第二装卸位置下方；以及

升降机构，所述升降机构将所述第一台上下移动到所述第一装卸位置和所述第一测试位置以及将所述第二台上下移动到所述第二装卸位置和所述第二测试位置。

2.根据权利要求1所述的检查设备，

其中，所述第二测试器包括盖部，所述盖部在所述基板被装载时通过朝向所述第一台移动而打开，并且

其中，所述第一测试位置是所述第一台从打开的盖部退回到的位置。

3.根据权利要求1或2所述的检查设备，

其中，所述升降机构将所述第一台和所述第二台一起向上分别移动到所述第一测试位置和所述第二装卸位置，并且

其中，所述升降机构将所述第一台和所述第二台一起向下分别移动到所述第一装卸位置和所述第二测试位置。

4.根据权利要求1或2所述的检查设备，

其中，所述升降机构在开始所述第一测试器中的所述基板的测试的操作被执行时将所述第一台向上移动到所述第一测试位置。

5.根据权利要求1或2所述的检查设备，

其中，所述升降机构在开始所述第二测试器中的所述基板的测试的操作被执行时将所述第二台向下移动到所述第二测试位置。

6.根据权利要求1或2所述的检查设备，所述检查设备进一步包括：

显示部，所述显示部显示所述第一测试器和所述第二测试器中的测试的结束，

其中，所述升降机构将所述第一测试器和所述第二测试器中结束测试较早的测试器向上或向下移动到该测试器的装卸位置，而与所述第一测试器和所述第二测试器中的哪个较早地开始测试无关。