[发明专利]一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构有效
| 申请号： | 201410241015.7 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105331947B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李冰;佘清 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构，涉及真空镀膜技术领域，为解决将顶针升降机构装配到真空镀膜设备上的装配效率低的问题。所述顶针升降机构包括：与真空腔室内的支撑台上的三个预留孔一一对应的三个顶针组件，每个顶针组件包括：固定安装在预留孔中的直线轴承，穿插在预留孔中和直线轴承的轴承孔中的顶针，顶针的上端设有可通过预留孔、且能防止顶针从轴承孔中脱落的限位帽；位于支撑台的下方用于承托三个顶针的托板；以及位于真空腔室外并与托板相连用于驱动托板升降的驱动单元。本发明提供的顶针升降机构用于真空镀膜时取放基片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 设备 中的 顶针 升降 机构 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构，其特征在于，包括：位于真空镀膜设备的真空腔室内的三个顶针组件，三个所述顶针组件与真空腔室内的支撑台上的三个预留孔一一对应，每个所述顶针组件包括：固定安装在所述预留孔中的直线轴承，且所述直线轴承的中心与所述预留孔的中心位于同一直线上，穿插在所述预留孔中和所述直线轴承的轴承孔中的顶针，所述顶针的上端设有可通过所述预留孔、且能防止所述顶针从所述轴承孔中脱落的限位帽；位于真空腔室内且位于所述支撑台的下方、用于承托三个所述顶针的托板；以及位于真空腔室外并与所述托板相连、用于驱动所述托板升降的驱动单元；在所述托板和所述支撑台之间，三个所述顶针上各套装有一个弹簧以及各设有一个用于防止所述弹簧从对应的顶针上脱落的挡板。
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