[发明专利]一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构

权利要求书

1.一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构，其特征在于，包括：

位于真空镀膜设备的真空腔室内的三个顶针组件，三个所述顶针组件与真空腔室内的支撑台上的三个预留孔一一对应，每个所述顶针组件包括：固定安装在所述预留孔中的直线轴承，且所述直线轴承的中心与所述预留孔的中心位于同一直线上，穿插在所述预留孔中和所述直线轴承的轴承孔中的顶针，所述顶针的上端设有可通过所述预留孔、且能防止所述顶针从所述轴承孔中脱落的限位帽；

位于真空腔室内且位于所述支撑台的下方、用于承托三个所述顶针的托板；

以及位于真空腔室外并与所述托板相连、用于驱动所述托板升降的驱动单元；

在所述托板和所述支撑台之间，三个所述顶针上各套装有一个弹簧以及各设有一个用于防止所述弹簧从对应的顶针上脱落的挡板。

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备中的顶针升降机构，其特征在于，每个所述限位帽为半球形帽，所述半球形帽的直径大于所述直线轴承的轴承孔直径，小于所述预留孔的直径。

3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备中的顶针升降机构，其特征在于，每个所述顶针与所述托板接触的端面为半球形面。

4.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备中的顶针升降机构，其特征在于，每个所述直线轴承为法兰型直线轴承，所述法兰型直线轴承的法兰通过数个螺钉与所述支撑台固定连接。

5.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备中的顶针升降机构，其特征在于，所述驱动单元包括：驱动装置，分别与所述驱动装置和所述托板相连的波纹管组件；其中，

所述驱动装置包括：固定安装在真空腔室外并与真空腔室的底板固定连接的电机，通过联轴器与所述电机的输出轴固定连接的滚珠丝杠，以及滑动安装在所述滚珠丝杠上的抱块；

所述波纹管组件包括：一端与所述抱块固定连接、另一端从所述底板伸进所述真空腔室内且与所述托板固定连接的波纹管轴，位于所述底板和所述托板之间并与所述底板固定连接的波纹管座，套装在所述波纹管轴上、两端分别与所述波纹管座和所述波纹管轴伸进真空腔室内的一端固定连接的波纹管。