[发明专利]一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构

说明书

本发明公开了一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构，涉及真空镀膜技术领域，为解决将顶针升降机构装配到真空镀膜设备上的装配效率低的问题。所述顶针升降机构包括：与真空腔室内的支撑台上的三个预留孔一一对应的三个顶针组件，每个顶针组件包括：固定安装在预留孔中的直线轴承，穿插在预留孔中和直线轴承的轴承孔中的顶针，顶针的上端设有可通过预留孔、且能防止顶针从轴承孔中脱落的限位帽；位于支撑台的下方用于承托三个顶针的托板；以及位于真空腔室外并与托板相连用于驱动托板升降的驱动单元。本发明提供的顶针升降机构用于真空镀膜时取放基片。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构。

背景技术

目前，在现有的真空镀膜设备如物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，以下简称PVD)设备中，通常设有用于取放基片的顶针升降机构。请参阅图1，该PVD设备包括：具有开口的真空腔室101，设于真空腔室101的开口处的插板阀107，设于真空腔室101内的支撑台106，与支撑台106伸出真空腔室101外的一端传动连接、用于驱动支撑台106升降的驱动装置(图中未画出)，设于真空腔室101内、与支撑台106相对的靶材103，以及用于和机械手102配合，将基片104从支撑台106上取出和将基片104放于支撑台106上的顶针升降机构；其中，顶针升降机构包括：由驱动装置203和波纹管组件202组成的驱动单元105，与波纹管组件202相连的托架204，以及设在托架204上的三个顶针201。

请参阅图2和图3，驱动装置203位于真空腔室101外，包括：电机213，通过联轴器212与电机的输出轴固定连接的滚珠丝杆211，滑动安装在滚珠丝杠211上的抱块214，其中，电机213通过安装座209和螺钉210固定安装在真空腔室101的底板208上。波纹管组件202位于真空腔室101内，包括：固定在底板208上的波纹管底座207，一端固定在波纹管底座207上的波纹管206，以及穿插波纹管206中、并与波纹管206另一端固定连接的波纹管轴205，且波纹管轴205伸出真空腔室101外的一端与抱块214固定连接，波纹管轴205的另一端与托架204固定连接，托架204的主体部分为圆环形结构，三个顶针201通过垫圈215和螺母216固定安装在该圆环形结构上，三个顶针201在该圆环形结构的圆周方向上均匀分布，且三个顶针201可分别穿过支撑台106上对应的三个预留孔，伸出支撑台106的上表面。

将顶针升降机构105和支撑台106装配到PVD设备上的流程如下：首先将驱动装置203按上述连接关系安装到真空腔室101外，将波纹管组件202按上述连接关系安装到真空腔室101内，但波纹管轴205与抱块214之间不锁死固定；然后将三个顶针201固定安装在托架204上，并通过螺栓将托架204预装在波纹管轴205上端，但不拧紧固定；接下来将支撑台106安装在真空腔室101内的底板208上，并使三个顶针201分别穿插在支撑台106上三个预留孔中；然后通过调整支撑台106和托架204之间的相对位置，使三个顶针201通过各自对应预留孔301的中心，并需要保证三个顶针201与各自对应的预留孔301的侧壁不接触，以免因摩擦而影响顶针201的使用寿命；紧固抱块214使抱块214与波纹管轴205固定连接，拧紧连接托架204和波纹管轴205的螺栓，使托架204固定；最后调整支撑台106的水平度后并使支撑台106与对应的驱动装置紧固连接。