[发明专利]一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法

摘要

本发明公开了一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，该方法具体为在装入硅锭原材料、关闭所述多晶铸锭炉设备的炉腔进行硅锭生产前，对所述炉腔抽真空进行第一真空测试；在硅锭成型后，打开所述炉腔之前，对所述炉腔抽真空并进行第二真空测试，所述第一真空测试参考上一生产周期的第二真空测试结果，判断是否直接进行；本发明在硅锭程序运行生产过程中增加对炉腔真空测试步骤，不仅有利于及时了解本次生产周期内，设备的气密性，有利于及时排查影响气密性的因素，保障本次硅锭的生产质量。并且，在没有给多晶铸锭炉带来额外的生产用时的前提下，增加了设备器件气密性的检查，这样，能在下一周期进行第一真空测试之前，发现设备存在的问题，及时进行维修。

主权项

一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，其特征在于，该方法具体为：在装入硅锭原材料、关闭所述多晶铸锭炉设备的炉腔之后，在进行硅锭生产前，对所述炉腔抽真空进行第一真空测试；在硅锭成型后，打开所述炉腔之前，对所述炉腔抽真空并进行第二真空测试；所述第一真空测试参考上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果，判断是否直接进行；当上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果为不满足真空测试标准时，对所述多晶铸锭炉设备先进行排查，消除影响气密性的因素后再进行本生产周期的第一真空测试；当本生产周期中所述第一真空测试不满足真空判断标准时，参考上一生产周期中的所述第二真空测试满足真空判断标准的测试结果，确定影响所述多晶铸锭炉设备气密性的因素的查找范围；在所述硅锭生产的冷却工艺阶段进行所述第二真空测试。