[发明专利]一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅加工技术领域，特别涉及一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法。

背景技术

目前光伏行业发展迅速，多晶铸锭炉设备类型多种多样。无论铸锭工艺如何变化调整，其生产过程基本为：硅锭原材料装炉→闭合炉腔→主炉体真空测试→程序运行→打开炉腔→成品硅锭出炉→硅锭原材料装炉→闭合炉腔。

主炉体真空测试为检测多晶铸锭炉设备器件气密性的关键步骤，受设备器件以及炉腔的闭合与打开的影响。因设备器件经过一个生产运行周期或者几个生产运行周期的运行，连接部位有可能会出现松动导致主炉体真空测试过程出现异常，不能达到程序运行的真空压力0.008mpar，如此则设备停止生产，进行检查维修，而检查、维修一般在标准大气压下进行，检查是连接部位出现问题还是炉腔为完全闭合，如果连接部位出现问题，还需进一步检查是哪一处连接部位出现问题。

不仅检查需要浪费比较多的时间，而且排查克服设备的缺陷后，还要重新对设备抽真空。该方法不仅不利于查找影响设备气密性的因素，而且炉腔的打开再闭合均会影响主炉体真空测试时间，大大增加了真空测试的时间，影响多晶铸锭炉设备单位时间的产能。

因此，如何提供一种用于检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，该方法有利于快速判断影响设备气密性的因素，进而提高单位时间的设备产能，是本领域内技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的为提供一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，该方法有利于快速判断影响设备气密性的因素，进而提高单位时间的设备产能。

为解决上述技术问题，本发明提供一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，该方法具体为：在装入硅锭原材料、关闭所述多晶铸锭炉设备的炉腔进行硅锭生产前，对所述炉腔抽真空进行第一真空测试；在硅锭成型后，打开所述炉腔之前，对所述炉腔抽真空并进行第二真空测试；所述第一真空测试参考上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果，判断是否直接进行。

优选地，在所述硅锭生产的冷却工艺阶段进行所述第二真空测试。

优选地，所述冷却工艺具体步骤为：

S11、保持所述炉腔的气压维持在预定压力范围内以满足硅锭生产要求；

S12、当所述硅锭成型后，对所述炉腔进行抽真空，进行所述第二真空测试；

S13、对所述炉腔进行充气逐渐充气至标准气压，并维持预定时间，以便准备硅锭出炉。

优选地，所述步骤S12中进行所述第二真空测试时，抽取真空的时间为1-2小时，测试所用时间为0.3-0.5小时。

优选地，所述步骤S13具体包括：

S131、对所述炉腔进行充氦气，使所述炉腔内的气压由真空气压升至800mpar，并维持4-6小时；

S132、对所述炉腔继续充氦气，使所述炉腔内的气压由800mpar升至标准气压。

优选地，所述步骤S11中的预定压力范围为550-650mpar。

优选地，当上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果为不满足真空测试标准时，对所述多晶铸锭炉设备先进行排查，消除影响气密性的因素后后再进行本次的所述第一真空测试。

优选地，当上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果为不满足真空测试标准时，对所述多晶铸锭炉设备先进行排查，消除影响气密性的因素后再进行本次的所述第一真空测试。

优选地，当本生产周期中所述第一真空测试不满足真空判断标准时，参考上一生产周期中的所述第二真空测试满足真空判断标准的测试结果，确定影响所述多晶铸锭炉设备气密性的因素的查找范围。

本发明在硅锭程序运行生产过程中增加对炉腔真空测试步骤，不仅有利于及时了解本次生产周期内，设备的气密性，有利于及时排查影响气密性的因素，保障本次硅锭的生产质量。并且，在没有给多晶铸锭炉带来额外的生产用时的前提下，增加了设备器件气密性的检查，当上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果为不满足真空测试标准时，对所述多晶铸锭炉设备先进行排查，消除影响气密性的因素后再进行本生产周期的第一真空测试。这样，能在进行本生产周期的第一真空测试之前，发现设备存在的问题，及时进行维修。例如，如果在此检测过程中检测到设备的气密性不满足要求，那么在硅锭出炉后进行本次硅锭生产前，可以提前查找影响设备气密性的原因。这样，可以在下一周期进行第一真空测试前，了解炉腔的连接部件之间气密性情况，避免浪费本生产周期抽真空的时间。

综上所述，本发明的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法可以有利于快速判断影响设备气密性的因素，进而提高单位时间的设备产能。