[发明专利]一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法

权利要求书

1.一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，其特征在于，该方法具体为：在装入硅锭原材料、关闭所述多晶铸锭炉设备的炉腔之后，在进行硅锭生产前，对所述炉腔抽真空进行第一真空测试；在硅锭成型后，打开所述炉腔之前，对所述炉腔抽真空并进行第二真空测试；

所述第一真空测试参考上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果，判断是否直接进行；当上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果为不满足真空测试标准时，对所述多晶铸锭炉设备先进行排查，消除影响气密性的因素后再进行本生产周期的第一真空测试；

当本生产周期中所述第一真空测试不满足真空判断标准时，参考上一生产周期中的所述第二真空测试满足真空判断标准的测试结果，确定影响所述多晶铸锭炉设备气密性的因素的查找范围；

在所述硅锭生产的冷却工艺阶段进行所述第二真空测试。

2.如权利要求1所述的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，其特征在于，所述冷却工艺具体步骤为：

S11、保持所述炉腔的气压维持在预定压力范围内以满足硅锭生产要求；

S12、当所述硅锭成型后，对所述炉腔进行抽真空，进行所述第二真空测试；

S13、对所述炉腔进行充气逐渐充气至标准气压，并维持预定时间，以便准备硅锭出炉；

其中，所述步骤S11中的预定压力范围为550-650mpar。

3.如权利要求2所述的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，其特征在于，所述步骤S12中进行所述第二真空测试时，抽取真空的时间为1-2小时，测试所用时间为0.3-0.5小时。

4.如权利要求2所述的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，其特征在于，所述步骤S13具体包括：

S131、对所述炉腔进行充氦气，使所述炉腔内的气压由真空气压升至800mpar，并维持4-6小时；

S132、对所述炉腔继续充氦气，使所述炉腔内的气压由800mpar升至标准气压。