[发明专利]一种半导体切割纯水喷射控制系统在审

专利信息
申请号: 201410228769.9 申请日: 2014-05-28
公开(公告)号: CN105313230A 公开(公告)日: 2016-02-10
发明(设计)人: 甘宗保;姜泽芳 申请(专利权)人: 海太半导体(无锡)有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00
代理公司: 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人: 杨虹
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种半导体切割纯水喷射控制系统,包括:通过纯水水管连通的中央处理单元、信号控制单元、电子流量计、纯水过滤器、数字温控单元、及喷射单元;其中,中央处理单元,用于发出控制指令;信号控制单元,还电性连接中央处理单元,用于根据控制指令生成工作指令;电子流量计,还电性连接信号控制单元,于接收到工作指令时,按预设流量计压力进行供水;纯水过滤器,用于对供水进行过滤;数字温控单元,用于将过滤后的纯水保持在预设温度;喷射单元,用于喷射预设温度纯水以进行切割,通过利用电子流量计控制纯水传输,通过过滤、恒温等步骤,保证了稳定流量计压力大小;此设计结构简单,维护便捷,且不易发生故障。
搜索关键词: 一种 半导体 切割 纯水 喷射 控制系统
【主权项】:
一种半导体切割纯水喷射控制系统,其特征在于,包括:通过纯水水管连通的中央处理单元、信号控制单元、电子流量计、纯水过滤器、数字温控单元、及喷射单元;其中,所述中央处理单元,用于发出控制指令;所述信号控制单元,还电性连接所述中央处理单元,用于根据所述控制指令生成工作指令;所述电子流量计,还电性连接所述信号控制单元,于接收到所述工作指令时,按预设流量计压力进行供水;所述纯水过滤器,用于对所述供水进行过滤;所述数字温控单元,用于将所述过滤后的纯水保持在预设温度;所述喷射单元,用于喷射所述预设温度纯水以进行切割。
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