[发明专利]一种可切换电阻式探针卡

摘要

本发明的可切换电阻式探针卡，包括多个探针，若干电路走线单元，每个电路走线单元具有多个支路、以及位于支路上的可更换电阻；切换装置，用于在电路走线单元中的各个支路之间进行切换；电阻容纳装置，位于探针卡正面，且电阻容纳装置与相应的支路相连通，用于将置于其中的电阻与支路相电连；封闭装置，用于将电阻容纳装置和切换装置与外界相隔离；切换装置控制单元，用于在封闭状态下，控制各个切换装置在相应的电路走线单元中的各个支路之间进行切换。本发明实现了在测试时，自由的选择与更换电阻，并且避免了重复大量测试对电阻造成的污染，不仅使得测试更加便利，还提高了测试精度，实现了测试的自动化。

主权项

一种可切换电阻式探针卡，包括多个探针，用于连接被测试结构和测试机台，其特征在于，还包括： 若干电路走线单元，位于所述探针卡背面，一端与所述探针相连接，另一端用于连接测试机台；每个所述电路走线单元具有多个支路、以及位于所述支路上的可更换电阻； 切换装置，所述切换装置的一端与所述电路走线单元相连接，另一端可选择地与所述电路走线单元中的所述支路相连接；用于在所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换； 电阻容纳装置，位于所述探针卡正面，且所述电阻容纳装置与相应的所述支路相电连，用于将置于其中的电阻与所述支路相电连； 封闭装置，用于将所述电阻容纳装置和所述切换装置与外界相隔离； 切换装置控制单元，用于在封闭状态下，控制各个所述切换装置在相应的所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换。