[发明专利]一种可切换电阻式探针卡

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种可切换电阻式探针卡。

背景技术

在全自动测试系统上进行晶圆级别的可靠性测试时，就会用到探针卡(如图1，为现有的探针卡的示意图)，探针卡的作用就是通过扎针焊垫使得测试机台信号和被测试结构导通。现有的探针卡会按照不同测试项目对连接电阻的需求分成两类，如图2和3所示，图2为现有的不带电阻的探针卡的示意图，图3为现有的每根针串接电阻的探针卡示意图。

目前需要购买以上这两种探针卡来满足不同测试的需求，因为有些测试是不能用加电阻的探针卡进行测试，否则会有分压的情况发生；而有些测试必须用到加电阻的探针卡，来防止测试过程中产生的瞬间大电流烧坏测试结构和损伤探针卡，对于这种测试每根针上都需串接电阻。

由于每次在测试之前都需要购买上述两种探针卡，并且在测试时需要从这两种探针卡之间进行选择，从而给测试带来了不便。

专利号为CN103592474A的专利公开了一种可切换式探针卡，其在每根探针的走线上设置了支路选择装置，用于在配有探针电阻的支路和未配置有探针电阻的支路之间进行切换，虽然能够解决不需在测试前选择两种探针卡的问题，但是，其只能选择切换连接电阻和不连接电阻，而不能进行不同电阻的更换，这样，无疑限制了测试时的灵活性。并且，这种可切换式探针卡在操作过程中暴露于空气中，这样多次重复使用会造成电阻的大量污染，降低测试精度。

发明内容

为了克服以上问题，本发明的目的是提供一种可切换式探针卡，其不仅能够更换电阻，可以在不同电阻之间进行切换，从而使得测试更加便利；其还能够避免在重复的大量测试过程中对电阻造成污染，从而提高测试精度。

为了实现上述目的，本发明提供的一种可切换电阻式探针卡，包括多个探针，用于连接被测试结构和测试机台，其还包括：

若干电路走线单元，位于所述探针卡背面，一端与所述探针相连接，另一端用于连接测试机台；每个所述电路走线单元具有多个支路、以及位于所述支路上的可更换电阻；

切换装置，所述切换装置的一端与所述电路走线单元相连接，另一端可选择地与所述电路走线单元中的所述支路相连接；用于在所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换；

电阻容纳装置，位于所述探针卡正面，且所述电阻容纳装置与相应的所述支路相电连，用于将置于其中的电阻与所述支路相电连；

封闭装置，用于将所述电阻容纳装置和所述切换装置与外界相隔离，从而避免大量频繁测试对电阻造成的污染，提高了测试精度。

切换装置控制单元，用于在封闭状态下，控制各个所述切换装置在相应的所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换。

优选地，在所述电阻容纳装置中具有顶出部件，用于将置于其中的电阻顶出所述电阻容纳装置。通过顶出部件，可以便于将电阻从电阻容纳装置中取出，增加测试的便利性，并且，可以避免取出电阻的过程中对电阻容纳电源造成损伤。

优选地，所述探针卡具有切换装置容纳槽，将所述切换装置放置其中；

优选地，所述探针卡具有多个凹槽，用于将所述电阻置于其中；所述切换装置容纳槽位于所述凹槽的靠近所述探针卡中心的一端。

优选地，所述封闭装置为遮挡帽，其一端与所述探针卡通过轴相连接，使所述遮挡帽可以绕所述轴进行上下翻动，从而完成开启或关闭动作。

优选地，所述封闭装置连接有封闭装置控制器，所述封闭装置控制器用于控制所述封闭装置的开启或关闭动作。通过封闭装置控制器，可以实现自动化操作，更进一步增加测试的便利性。

优选地，所述电阻容纳装置中，通过两个导电片与所述支路相连通。

优选地，所述切换装置为电阻切换开关或单刀多掷开关。

由此可见，本发明的可切换电阻式探针卡，通过设置切换装置、电阻容纳装置、封闭装置、切换装置控制单元，从而实现了在测试时，自由的选择与更换电阻，并且避免了重复大量测试对电阻造成的污染，不仅使得测试更加便利，还提高了测试精度，并且在一定程度上实现了测试的自动化。

附图说明

图1为现有的探针卡的示意图

图2为现有的不带电阻的探针卡的示意图

图3为现有的每根针串接电阻的探针卡示意图

图4为本发明的可切换式探针卡的方块图

图5为探针卡的内部电路示意图

图6为本发明的一个较佳实施例的探针卡的示意图

图7为本发明的一个较佳实施例的探针卡装上电阻后的示意图

具体实施方式