[发明专利]一种可切换电阻式探针卡在审
申请号: | 201410227731.X | 申请日: | 2014-05-27 |
公开(公告)号: | CN103983817A | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 王炯;尹彬锋;吴奇伟 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;林彦之 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切换 电阻 探针 | ||
1.一种可切换电阻式探针卡,包括多个探针,用于连接被测试结构和测试机台,其特征在于,还包括:
若干电路走线单元,位于所述探针卡背面,一端与所述探针相连接,另一端用于连接测试机台;每个所述电路走线单元具有多个支路、以及位于所述支路上的可更换电阻;
切换装置,所述切换装置的一端与所述电路走线单元相连接,另一端可选择地与所述电路走线单元中的所述支路相连接;用于在所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换;
电阻容纳装置,位于所述探针卡正面,且所述电阻容纳装置与相应的所述支路相电连,用于将置于其中的电阻与所述支路相电连;
封闭装置,用于将所述电阻容纳装置和所述切换装置与外界相隔离;
切换装置控制单元,用于在封闭状态下,控制各个所述切换装置在相应的所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换。
2.根据权利要求1所述的探针卡,其特征在于,在所述电阻容纳装置中具有顶出部件,用于将置于其中的电阻顶出所述电阻容纳装置。
3.根据权利要求1所述的探针卡,其特征在于,所述探针卡具有切换装置容纳槽,将所述切换装置放置其中。
4.根据权利要求1所述的探针卡,其特征在于,所述探针卡具有多个凹槽,用于将所述电阻置于其中;所述切换装置容纳槽位于所述凹槽的靠近所述探针卡中心的一端。
5.根据权利要求1所述的探针卡,其特征在于,所述封闭装置为遮挡帽,其一端与所述探针卡通过轴相连接,使所述遮挡帽可以绕所述轴进行上下翻动,从而完成开启或关闭动作。
6.根据权利要求1或5所述的探针卡,其特征在于,所述封闭装置连接有封闭装置控制器,所述封闭装置控制器用于控制所述封闭装置的开启或关闭动作。
7.根据权利要求1所述的探针卡,其特征在于,所述电阻容纳装置中,通过两个导电片与所述支路相连通。
8.根据权利要求1所述的探针卡,其特征在于,所述切换装置为电阻切换开关或单刀多掷开关。
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