[发明专利]电极、电子装置和用于制造光电子装置的方法有效
| 申请号: | 201410199954.X | 申请日: | 2014-05-13 |
| 公开(公告)号: | CN104157333B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
| 发明(设计)人: | M.菲舍尔;D.梅因霍尔德;S.施密德鲍尔;N.厄班斯基 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技德累斯顿有限责任公司 |
| 主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 申屠伟进,胡莉莉 |
| 地址: | 德国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及电极、电子装置和用于制造光电子装置的方法。根据各种实施例,一种电极可包括至少一个层,所述至少一个层包括包含铝和钛的化学化合物。 | ||
| 搜索关键词: | 电极 电子 装置 用于 制造 光电子 方法 | ||
【主权项】:
一种电极,包括:包含钽和氮化钛的底层;直接设置在所述底层上的至少一个层,该至少一个层包括一种包含铝和钛的化学化合物,以及直接设置在所述至少一个层上的氮化钛层,其中所述氮化钛层提供所述电极的上表面。
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