[发明专利]基板蒸镀装置和蒸镀方法在审
| 申请号： | 201410177653.7 | 申请日： | 2014-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN103938161A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 马群;元裕太;贾敏慧 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种基板蒸镀装置及蒸镀方法，该蒸镀方法包括：对基板进行预蒸镀并测量蒸镀后膜层的厚度分布情况，根据膜层厚度分布情况划分厚度区域；调节蒸发源和基板之间的间距；根据所测得的膜层厚度分布情况来选择蒸发源移动轨迹，通过蒸发源的移动来调节基板的膜层厚度。本发明特别适用于点蒸发源，蒸发源由静止改为移动，并根据膜层的厚度分布情况设置蒸发源的运动轨迹，使点蒸发源在蒸镀的同时按一定轨迹运动，从而解决了膜厚不均现象。同时，由于基板和蒸发源之间的距离可调，可以通过减小该间距来减少节拍时间和提高材料的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 基板蒸镀 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板蒸镀装置，其特征在于，其包括：蒸发源，用于对基板进行蒸镀；X轴移动机构，用于实现蒸发源在X轴方向的移动；Y轴移动机构，用于实现蒸发源在Y轴方向的移动；Z轴移动机构，用于实现蒸发源在Z轴方向的移动。
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