[发明专利]一种主节点版图中半节点CMP模型的运行方法有效
| 申请号： | 201410163106.3 | 申请日： | 2014-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN105095532B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 姜立维;李雪;刘立美 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 高伟;冯永贞 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种主节点版图中半节点CMP模型的运行方法及半导体器件制备方法。所述运行方法包括：步骤(a)：提供主节点版图；步骤(b)：将所述主节点版图划分为若干网格区域，并直接对每个所述网格区域进行几何提取，获取数值信息；步骤(c)：将所述数值信息中的几何信息缩小以获取半节点几何信息，根据所述半节点几何信息进行半节点CMP模拟；步骤(d)：输出模拟结果数据，并确定所述模拟过程中的缺陷点；步骤(e)：在所述主节点版图上对所述缺陷点进行分析；步骤(f)：产生版图修改指导规则，并进行修改。本发明所述方法通过调整VCMP方法中的网格尺寸，即通过调整VCMP的模拟分辨率以及工艺缩小因子，来避免两个耗费大量时间的工艺步骤，以提高模拟效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节点 版图 cmp 模型 运行 方法 | ||
【主权项】：
1.一种主节点版图中半节点CMP模型的运行方法，包括：步骤(a)：提供主节点版图；步骤(b)：将所述主节点版图划分为若干网格区域，并直接对每个所述网格区域进行几何提取，获取数值信息；步骤(c)：将所述数值信息中的几何信息缩小以获取半节点几何信息，根据所述半节点几何信息进行半节点CMP模拟；步骤(d)：输出CMP模拟结果数据，并确定所述半节点CMP模拟过程中的缺陷点；步骤(e)：在所述主节点版图上对所述缺陷点进行分析；步骤(f)：产生版图修改指导规则，并进行修改。
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