[发明专利]一种主节点版图中半节点CMP模型的运行方法

权利要求书

1.一种主节点版图中半节点CMP模型的运行方法，包括：

步骤(a)：提供主节点版图；

步骤(b)：将所述主节点版图划分为若干网格区域，并直接对每个所述网格区域进行几何提取，获取数值信息；

步骤(c)：将所述数值信息中的几何信息缩小以获取半节点几何信息，根据所述半节点几何信息进行半节点CMP模拟；

步骤(d)：输出CMP模拟结果数据，并确定所述半节点CMP模拟过程中的缺陷点；

步骤(e)：在所述主节点版图上对所述缺陷点进行分析；

步骤(f)：产生版图修改指导规则，并进行修改。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(b)包括以下子步骤：

步骤(b-1)：根据网格分辨率将所述主节点版图划分为若干所述网格区域；

步骤(b-2)：所述网格区域不进行缩小，直接进行几何提取，获取数值信息以表示所述主节点版图。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述数值信息包括识别信息和几何信息。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述识别信息包括网格编号和网格坐标；

所述几何信息包括网格密度、网格线宽和网格周长。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(c)包括以下子步骤：

步骤(c-1)：通过工艺缩小因子将代表主节点版图的所述几何信息进行缩小，以获取代表所述半节点版图的所述半节点几何信息；

步骤(c-2)：对获取的所述半节点几何信息进行半节点CMP模拟，以获得所述模拟结果。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(d)包括以下子步骤：

步骤(d-1)：将所述半节点CMP模拟中得到的模拟数值信息输出，以获得所述模拟结果；

步骤(d-2)对所述模拟数值信息进行检查，将反常的模拟数值信息滤出；

步骤(d-3)根据所述反常的模拟数值所对应的识别信息查找到在所述主节点版图上相对应的网格，以确定缺陷点。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述缺陷点是指模拟结果超出预期的网格区域，所述网格区域为违背设计规则的图案或者不合理的版图图案。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在进行所述修改之后，重复执行步骤(a)-步骤(f)直至通过验证为止。

9.一种半导体版图制备方法，所述方法包括选用权利要求1至8之一所述的方法在主节点版图中进行半节点CMP模拟的步骤。