[发明专利]基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统有效
| 申请号： | 201410133233.9 | 申请日： | 2014-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN104977903B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 赵晨;谭小兵 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统，方法包括：基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机台的负载端口的数量、每个机台的实时派货规则，以及各个机台上派货至该机台的每个晶圆批次的预定时间规格；实时获取每个机台正在处理的晶圆批次信息，并根据每个机台的负载端口的数量和每个机台正在处理的晶圆批次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序；按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货规则得到每个机台的派货结果。本发明能够避免同一机台组下机台在预定晶圆批次时发生同时预定同一批晶圆的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 实时 系统 机台 批次 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法，其特征在于，所述方法包括：基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机台的负载端口的数量、每个机台的实时派货规则，以及各个机台上派货至该机台的每个晶圆批次的预定时间规格；实时获取每个机台正在处理的晶圆批次信息，并根据每个机台的负载端口的数量和每个机台正在处理的晶圆批次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序；按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货规则得到每个机台的派货结果；其中，对任一所述机台的实时派货规则进行更新后，均释放已派货至该机台且超过所述预定时间规格的晶圆批次，并将释放的晶圆批次并入待派货的晶圆批次中，然后再基于该待派货晶圆批次对后续一所述机台的实时派货规则进行更新，且同一时刻一个晶圆批次只能派货至一个机台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410133233.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种提高钢铁能源利用率的在线能源分配控制方法
- 下一篇：伺服控制装置
