[发明专利]基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统

权利要求书

1.一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法，其特征在于，所述方法包括：

基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机台的负载端口的数量、每个机台的实时派货规则，以及各个机台上派货至该机台的每个晶圆批次的预定时间规格；

实时获取每个机台正在处理的晶圆批次信息，并根据每个机台的负载端口的数量和每个机台正在处理的晶圆批次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序；

按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货规则得到每个机台的派货结果；

其中，对任一所述机台的实时派货规则进行更新后，均释放已派货至该机台且超过所述预定时间规格的晶圆批次，并将释放的晶圆批次并入待派货的晶圆批次中，然后再基于该待派货晶圆批次对后续一所述机台的实时派货规则进行更新，且同一时刻一个晶圆批次只能派货至一个机台。

2.如权利要求1所述的派工方法，其特征在于，根据工艺需求设定每个机台所对应加工的晶圆批次信息。

3.如权利要求1所述的派工方法，其特征在于，每个机台预定晶圆批次的预定时间规格均大于所述预估时间。

4.如权利要求1所述的派工方法，其特征在于，每个机台正在处理的晶圆批次信息包括：晶圆批次编号、TIT、FPT、T_N和T_E；

其中，TIT表示晶圆批次进入机台的时间，FPT表示预计晶圆批次完成制程所需的时间，T_N表示当前时间，T_E表示所述预估时间。

5.如权利要求4所述的派工方法，其特征在于，所述各个机台的空闲顺序按照以下方式确定：

T_N+T_E-TIT-FTP的结果越大，表示其所对应的机台的负载端口越早空闲，根据每个负载端口的空闲的时间不同，得到各负载端口的空闲顺序，且以每个机台中最先空闲的负载端口作为该机台的最先空闲时间，以得到各机台的空闲顺序，从而得到所述空闲顺序；

其中，当T_N+T_E-TIT-FTP>0时，表示机台在后续的T_E内能够对当前的晶圆批次结束制程，从而使机台中对应的负载端口空闲；

当T_N+T_E-TIT-FTP<0时，表示机台在后续的T_E内不能够对当前的晶圆批次结束制程，从而机台不空闲。

6.如权利要求5所述的派工方法，其特征在于，所述T_E根据生产过程中的实际需要进行设定。

7.一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工系统，其特征在于，所述系统包括：

机台组下的有效机台维护模块，用于基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机台的负载端口的数量、每个机台的实时派货规则，以及各个机台上派货至该机台的每个晶圆批次的预定时间规格；

机台空闲计算模块，通信连接于所述有效机台维护模块，用于实时获取每个机台正在处理的晶圆批次信息，根据每个机台的负载端口的数量和每个机台正在处理的晶圆批次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序；

机台组下的派工监控模块，通信连接于所述机台空闲计算模块，用于获取所述空闲顺序后，按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货规则得到每个机台的派货结果；

机台组的派工结果显示模块，通信连接于所述机台组下的派工监控模块，以获取所述派货结果后将所述派货结果进行显示；

其中，对任一所述机台的实时派货规则进行更新后，均释放已派货至该机台且超过所述预定时间规格的晶圆批次，并将释放的晶圆批次并入待派货的晶圆批次中，然后再基于该待派货晶圆批次对后续一所述机台的实时派货规则进行更新，且同一时刻一个晶圆批次只能派货至一个机台。