[发明专利]基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统

说明书

本发明提供一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统，方法包括：基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机台的负载端口的数量、每个机台的实时派货规则，以及各个机台上派货至该机台的每个晶圆批次的预定时间规格；实时获取每个机台正在处理的晶圆批次信息，并根据每个机台的负载端口的数量和每个机台正在处理的晶圆批次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序；按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货规则得到每个机台的派货结果。本发明能够避免同一机台组下机台在预定晶圆批次时发生同时预定同一批晶圆的情况。

技术领域

本发明涉及半导体生产领域，尤其涉及一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统。

背景技术

在半导体制造生产中，由于生产工艺及其过程十分复杂，用于进行工艺制程的机台也不尽相同，不同机台或者机台组可以进行多种不同属性晶圆批次的制程加工，而在同一机台组下的不同机台可以派工的晶圆批次也不同。

目前，绝大多数的晶圆制造工厂都已经采用了实施派工系统(Real TimeDispatch，简称：RTD)来负责线上的派工。实施派工系统可以通过内置的算法对线上的晶圆批次制定较为合理的派工结果，生产助理(MA)只需要依照实施派工系统推荐的晶圆批次顺序来派工即可，这样相比人工派工可以大大提高派工的效率。

但是，目前的实时派工系统是通过选定机台来执行派工的，即生产助理是通过单个机台的派工规则来获取派货结果的。在实际生产过程中，往往会出现如下情况，一台机台组下面的机台会同时接到上游下来的晶圆批次，在进行派工的时候如果仅仅从单个机台的角度考虑，经常会引起同一台机组下不同机台之间互相抢货的问题，这时是因为有的机台的生产助理先选中了一批晶圆批次，但另外机台的生产助理也恰好选中了这一批晶圆批次。这样就极大地浪费了天车以及制造厂(FAB)的产能以及生产助理的生产能力。

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统。

本发明解决技术问题所采用的技术方案为：

一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法，其中，所述方法包括：

基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机台的负载端口的数量、每个机台的实时派货规则，以及各个机台上派货至该机台的每个晶圆批次的预定时间规格；

实时获取每个机台正在处理的晶圆批次信息，并根据每个机台的负载端口的数量和每个机台正在处理的晶圆批次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序；

按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货规则得到每个机台的派货结果；

其中，对任一所述机台的实时派货规则进行更新后，均释放已派货至该机台且超过所述预定时间规格的晶圆批次，并将释放的晶圆批次并入待派货的晶圆批次中，然后再基于该待派货晶圆批次对后续一所述机台的实时派货规则进行更新，且同一时刻一个晶圆批次只能派货至一个机台。

所述的派工方法，其中，根据工艺需求设定每个机台所对应加工的晶圆批次信息。

所述的派工方法，其中，每个机台预定晶圆批次的预定时间规格均大于所述预估时间。

所述的派工方法，其中，每个机台正在处理的晶圆批次信息包括：晶圆批次编号、TIT、FPT、T_N和T_E；

其中，TIT表示晶圆批次进入机台的时间，FPT表示预计晶圆批次完成制程所需的时间，T_N表示当前时间，T_E表示所述预估时间。

所述的派工方法，其中，所述各个机台的空闲顺序按照以下方式确定：