[发明专利]一种柔性导电膜图形化制造方法

摘要

本发明涉及一种柔性导电膜图形化制造方法，其选用导电薄膜（2）即PI或PET等材料作为柔性衬底，价格低廉，质量轻便，柔韧性好，易弯曲；该方法中采用滚涂的方式在导电薄膜（2）上滚涂一层光刻胶（6），光刻胶（6）具有厚度薄、粘附力强的特点，大大提高了光刻分辨率，降低了柔性显示器生产工艺复杂性，提高了生产效率，降低了生产成本。

主权项

一种柔性导电膜图形化制造方法，包括清洗、曝光、显影、蚀刻和脱膜工序，其特征在于具体包括如下步骤：第一步，选取一透明导电薄膜（2），将其贴附在一刚性基板（1）上形成复合基板；第二步，对上述复合基板进行清洗；第三步，在清洗过后的复合基板表面涂布一层光刻胶（6）；第四步，对涂有光刻胶层（3）的复合基板进行预烘；第五步，将上述预烘完成后的复合板送入曝光机中进行图形化曝光处理；第六步，对上述曝光后的复合板进行显影、清洗处理；第七步，对上述的复合板进行蚀刻、脱膜。